原创力文档摘要
摘要
用掺杂氢化微晶硅(μc-Si:H)层代替传统的掺杂非晶硅层可提升硅异质结
SHJHWCVD
（）太阳能电池的转换效率。而用热丝化学气相沉积（）代替等离
子体增强化学气相沉积（PECVD）制备μc-Si:H薄膜可显著降低成本，但
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