CN113295193B 一种用于深海勘测的单光纤级联式温度深度盐度传感器的制作方法 （大连理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN113295193B公告日2022.03.29

(21)申请号202110527311.3

(22)申请日2021.05.14

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113295193A

(43)申请公布日2021.08.24

(73)专利权人大连理工大学

地址116024辽宁省大连市甘井子区凌工

路2号

(72)发明人荆振国彭伟刘悦莹李昂刘强李昂

(74)专利代理机构大连理工大学专利中心

21200

代理人温福雪

(51)Int.CI.

GO1D5/353(2006.01)

(56)对比文件

CN111238554A,2020.06.05

CN109974789A,2019.07.05

CN109974758A,2019.07.05

CN112781633A,2021.05.11

WO2013139783A1,2013.09.26

LiuYueying.Miniaturefiber-optictippressuresensorassembledby

hydroxidecatalysisbonding”.《OpticsEXPRESS》.2020,第28卷(第2期),

宋鹏等.“基于光纤开放式法布里一珀罗干涉仪的液体折射率测量”.《中国激光》.2017,第44卷(第12期),

张杰等.“结构简单的熔接式全石英光纤EFPI高静压传感器”.《中国激光》.2016,第43卷(第10期),

审查员王芬

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种用于深海勘测的单光纤级联式温度-深度-盐度传感器的制作方法

(57)摘要

B本发明提供了一种用于深海勘测的单光纤级联式温度-深度-盐度传感器的制作方法。单光纤级联式温度-深度-盐度传感器利用电弧熔接和氢氧催化键合技术在同一光纤上制造并级联三个全石英传感单元。多个光纤微型自聚焦透镜的引入，使得在不影响级联FP干涉仪光传输的情况下，可通过大幅增加两级联的FP腔长来提高灵敏度和分辨率，以获取更好的传感性能。本发明不仅实现在复杂深海探测环境下的整体全石英结构，还使各传感元件级联在单一光纤上，具有体积小、结构紧凑、耐高压、抗腐蚀、适合远距离

B

CN113295193测量等优势，且制作过程简洁、重复性好，易于制

CN113295193

CN113295193B权利要求书1/1页

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1.一种用于深海勘测的单光纤级联式温度-深度-盐度传感器的制作方法，其特征在于，所述的用于深海勘测的单光纤级联式温度-深度-盐度传感器包括光纤(1)、光纤微型自聚焦透镜(2)、玻璃毛细管(3)、空心玻璃管(4)、高反射膜(5)、半反射膜(6)、氢氧催化键合溶液(7)、光纤光栅(8);

所述的光纤(1)与光纤微型自聚焦透镜(2)二者相互连接后，形成第一只光束准直结构；

所述的玻璃毛细管(3)与第一只光束准直结构中的光纤微型自聚焦透镜(2)的端面连接，并被切割至30～2000μm长度；再经电弧熔接至第二只光束准直结构中的光纤微型自聚焦透镜(2)的端面，形成用于海水深度测量的全石英封闭式FP干涉仪，同时重新耦合光束进入级联的另一FP干涉仪；

所述的空心玻璃管(4)的内径与光纤微型自聚焦透镜(2)的外径相匹配；在空心玻璃管

(4)的管壁加工出开口后，进行洁净化处理；

另一光纤(1)端面经平整切割，洁净化处理后，镀高反射膜(5);取第三只光束准直结构，将其进行洁净化处理后，在光纤微型自聚焦透镜(2)端面镀半反射膜(6);高反射膜(5)和半反射膜(6)相对布置；

所述的氢氧催化键合溶液(7)被滴于分别经镀膜处理的光纤(1)和第三只光束准直结构中的光纤(1)的侧壁，再将二者插入侧壁带有开口的空心玻璃管(4)中，两镀膜端面与空心玻璃管(4)的开口对齐，形成允许液体流入的开放式FP腔体，构成用于海水盐度测量的全石英开放式FP干涉仪，腔长为30～1500μm长度；

所述的氢氧催化键合溶液(7)需要一段固化时间来实现完全装配过程，最终形成坚固的硅-氧化学键连接，在室温下放置传感结构直到键合完成，或提高环境温度缩短固化时间；

所述的光纤光栅(8)具有全石英传感结构，用于海水温度监测，