《GBT 46178-2025 电子级四（二甲氨基）钛》练习题试卷及参考答案.pdfVIP

《GB/T46178-2025电子级四（二甲氨基）钛》练

习题试卷及参考答案

试卷总分：100分考试时间：120分钟

一、单项选择题（共15题，每题2分，共30分）

1.根据标准范围，GB/T46178-2025适用于（）的电子级四(二甲氨基)钛。

A.仅用于沉积氮化钛薄膜

B.仅用于沉积钛掺杂物

C.沉积多种钛基薄膜

D.所有电子级钛前驱体材料

2.在表1“集成电路用电子级四(二甲氨基)钛技术指标要求”中，关键有机纯度

$$Ti(NC₂H₆)₄$$/%的要求是（）。

A.≥99.5

B.≥99.9

C.≥99.99

D.≥99.999

3.表1中，对元素杂质“钙(Ca)含量”的限量要求是（）。

A.≤0.1µg/kg

B.≤1µg/kg

C.≤2µg/kg

D.≤5µg/kg

4.根据表1，元素杂质“总含量”的限量是（）。

A.≤1µg/kg

B.≤5µg/kg

C.≤10µg/kg

D.≤20µg/kg

5.“5.1.3.1样品前处理”中，对有机纯度测定样品，使用的稀释溶剂是（）。

A.超纯水

B.氘代氯仿

C.氘代苯

D.1%稀硝酸溶液

6.有机纯度“A”的计算公式$A=\frac{S_{D}}{S_{T}}\times100\%$中，

$S_D$代表（）。

A.所有氢谱峰面积之和

B.N($CH_3)_2$氢谱峰面积

C.扣除氘代苯溶剂峰后的所有氢谱峰面积之和

D.杂质氢谱峰总面积

7.关于“5.2元素杂质含量和无机纯度的测定”，对试验环境洁净度等级的要求

是（）。

A.不低于ISO5级

B.不低于ISO6级

C.不低于ISO7级

D.百级洁净间

8.在元素杂质含量测定前处理中，为了消除基体，将样品与氢氟酸反应后，使用

的加热装置是（）。

A.恒温水浴锅

B.微波消解仪

C.马弗炉

D.定制加热装置

9.在绘制ICP-MS标准曲线时，要求其相关系数$R^2$应（）。

A.≥0.990

B.≥0.995

C.≥0.998

D.≥0.999

10.根据公式（3）$P=100-

\left(\omega_{Ag}+\omega_{Al}+\cdots+\omega_{i}\right)\times10^{-

7}$计算无机纯度P时，$10^{-7}$是（）。

A.常量系数

B.由$m_a$和$m_s$决定的换算系数

C.由µg/kg换算为百分含量的简便系数

D.经验修正系数

11.氯离子含量测定的前处理方法中，称取样品的质量约为（）。

A.0.4g

B.4g

C.15g

D.50mg

12.氯离子含量测定中，液相色谱仪对淋洗液和基线稳定性的要求是，基线波动

振幅应（）。

A.≤0.005µs

B.≤0.01µs

C.≤0.05µs

D.≤0.1µs

13.根据“8运输、贮存”要求，电子级四(二甲氨基)钛产品的保质期为（）。

A.6个月

B.1年

C.2年

D.3年

14.在安全警告中，四(二甲氨基)钛遇水会释放出（）。

A.氢气

B.氨气

C.二甲胺气体

D.氯化氢气体

15.发生四(二甲氨基)钛火灾时，以下哪种灭火方法是不正确的？（）

A.切断气源

B.使用二氧化碳灭火器

C.使用泡沫灭火剂

D.用惰性气体或干砂覆盖

二、多项选择题（共10题，每题3分，共30分）

1.根据标准表1，以下哪些元素的杂质含量限量均为≤1µg/kg？（）

A.铝(Al)、铜(Cu)、铁(Fe)

B.钠(Na)、钾(K)、钙(Ca)

C.铅(Pb)、汞(Hg)、镉(Cd)

D.铬(Cr)、镍(Ni)、钴(Co)

E.氯离子($Cl^-$)、硫(S)、氟(F)

2.以下哪些标准被“5.2.2仪器及试剂”部分引用为高纯水或气体的依据？（）

A.GB/T25915.1

B.GB/T11446.1

C.GB/T6680

D.GB/T3723

E.SJ/T11637

3.“