中压有源并联型电压暂降与短时中断补偿装置技术规范.pdfVIP

中国电源学会团体标准项目建议书

项目名称中压有源并联型电压暂降与短时中断补偿装置技术规范

Technicalspecificationformediumvoltageactiveparallelvoltagesag

项目名称

andshort-terminterruptioncompensationdevice

制定或修订制定被修订标准号

29电气工程200整流器、转

ICS分类号中国标准分类号K46

换器、稳压电源

技术归口单位中国电源学会电能质量专业委员会

发起单位提迈克电机工业系统（中国）有限公司

四川大学，华南理工大学，湖南大学，安徽大学，提迈克电机工业系统(中国)

建议起草单位有限公司，上海闻泰科技股份有限公司，上海华虹宏力半导体制造有限公司，

上海天岳半导体材料有限公司

立项背景与必要性

1.立项背景

随着国家产业转型升级战略的深入推进，半导体产业作为关键基础性与先导性行业，其发展水平直

接关系到产业链整体竞争力和国家安全。半导体制造属于典型的“高精密、高能耗、高敏感”产业，

对供电系统在可靠性、电能质量及系统设计等方面提出了极为严格的要求。从晶圆制造到芯片封装

测试，每一环节均高度依赖电力系统的持续稳定运行，供电质量已成为影响产品良率与生产成本的

核心要素。

具体而言，半导体制造对电力供应的核心要求包括：

电压稳定性：半导体工艺设备对电压波动极为敏感。在光刻、刻蚀等关键制程中，电压波动超过±

1%即可导致光刻机对位失准，造成单批次价值数百万美元的晶圆报废。尤其在7nm及以下先进制程

中，EUV光刻机等设备需持续稳定的中压供电，任何瞬时中断均可能引发巨额经济损失。

频率精度：制造设备内部时钟同步机制高度依赖电网频率的精确性。频率偏差超过±0.5Hz可能引发

时序错误与数据同步失效，严重影响芯片良率，甚至导致整线停线。

供电连续性：毫秒级的瞬时电压暂降或中断均可能导致设备锁死、工艺数据丢失，产线恢复需数小

时至数天，造成的产能损失极为显著。据统计，全球半导体工厂因电力问题导致的年度损失高达数

十亿美元。

随着工艺节点向3nm、2nm等更先进制程演进，半导体制造对电能纯净度（如谐波失真率低于3%）、

故障恢复时间（小于10ms）等指标的要求已逼近现有技术极限，电力保障已成为继材料与设备之后

的第三大关键生产要素。

2.立项必要性

我国半导体产业用电量持续增长，行业对高标准供电体系已形成共识。然而，现行国家电能质量标

准（如GB/T15945-2008）仍主要面向通用工业场景，未针对半导体制造中动态负载响应、多电平复

合供电等特殊需求制定分级技术规范。相比之下，国际先进半导体产业集聚区（如中国台湾新竹、

美国奥斯汀）已通过立法形式，强制要求电网企业为半导体项目提供“双回路+不间断电源（UPS）+

柴油发电机”三级保障体系，我国在此方面的系统性政策支持仍显不足。

因此，制定适用于我国半导体产业的专用电力保障团体标准，不仅是产业发展的迫切需求，也是实

现电力供应体系规范化、标准化的重要举措。本标准的建立将填补国内相关领域空白，为半导体工

厂的电力系统设计、建设与运维提供技术依据，对提升我国半导体产业链的可靠性与竞争力，推动

行业整体技术进步与市场应用推广具有重要战略意义。

范围和主要技术内容

1.适用范围

建议本团体标准规定电压暂降与短时中断中压补偿装置的相关术语和定义、型号命名与产品分类、

使用条件、基本电路及构成、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、铭牌、包装、运输等要求。

本团体标准适用于标称电压6kV/10kV/20kV、频率50Hz的三相三线制电力系统，用于治理电压

暂降，暂升，及短时中断的有源并联型补偿装置。

2.主要技术内容

1范围

2规范性引用文件

3术语和定义

4型号命名与产品分类

5使用条件

6基本电路及构成

7技术要求

交流参数：

相数：三相三线

额定输入电压：6kV，10kV，20kV

额定电压输入偏差范围：±7%

额定输