金刚石材料热导率的测定 谐波法.pdfVIP

ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXXX—XXXX

金刚石材料热导率的测定谐波法

Measurementofthermalconductivityofdiamondmaterials—Harmonicmethod

（讨论稿）

XXXX-XX-XXXXXX-XX-XX

发布实施

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体材料标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半

导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。

本文件起草单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所等。

本文件主要起草人：郭怀新等。

金刚石材料热导率的测定谐波法

1范围

本文件规定了使用谐波法测量金刚石材料的热导率方法的要求和步骤。

本文件适用于面尺寸为3mm～125mm（形状不限），厚度≥50μm的金刚石单晶、金刚石多晶及其金

刚石复合材料（导电材料除外）的热导率的测定。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T14264半导体材料术语

3术语和定义

GB/T14264界定以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

谐波法harmonicmethod

一种用于测量材料热导率的技术，通过在样品上方探测线上施加交流电流，耦合产生三次谐波电压，

利用三次谐波电压拟合计算样品的热导率的方法，也称为3ω法（3OmegaMethod）。

3.2

热导率thermalconductivity

单位时间内在单位温度梯度下沿热流方向通过材料单位面积传递的热量，通常用符号κ表示，单位

为W/(m·K)。

3.3

电阻温度系数temperaturecoefficientofresistance;TCR

单位温度变化下电阻值的变化率，用于描述探测线电阻的温度敏感性，单位为K⁻¹。

3.4

探测线有效长度probelineeffectivelength

探测线探测三次谐波电压区域的有效长度，该区域被施加驱动电流，同时探测三次谐波电压，单位

为m。

3.5

三次谐波电压thirdharmonicvoltage

在谐波法测量中，探测线上会施加一交流电，该交流电与探测线电阻耦合产生包含多次谐波的复合

信号，三次谐波电压为复合信号中的三次谐波电压信号，单位为V。

3.6

基波电压fundamentalvoltage

在谐波法测量中，探测线上会施加一交流电，该交流电与探测线电阻耦合产生包含多次谐波的复合

信号，基波电压为复合信号中的一次谐波电压信号，单位为V。

4方法原理

使用谐波法测量金刚石的热导率是通过在样品表面沉积一条金属探测线（探测线结构见附录A），并

对探测线施加交流电流来引起金属探测线温度的周期性波动，通过采集金属探测线中的三次谐波电压可

获得探测线的温升探测线的温升反应了样品的热导率性质，通过三次谐波电压与频率的对应关系，可计

算出样品的热导率。该方法可用于评估高导热率材料的热导率性能。

5干扰因素

5.1测试环境中的震动以及电磁干扰对测试结果有影响，测试台振动或环境中电磁干扰会影响谐波信

号，从而影响测试精度；

5.2样品表面粗糙度对测试结果有影响，粗糙度影响探测线电阻精度。

5.3三次谐波电压、基波电压、探测线电阻温度系数