CN113782256B 一种低表面粗糙度透明电极的制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN113782256B公告日2022.02.18

(21)申请号202111317938.2

(22)申请日2021.11.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113782256A

(43)申请公布日2021.12.10

(73)专利权人南京邮电大学

地址210023江苏省南京市栖霞区亚东新

城文苑路9号

(72)发明人李东东

(74)专利代理机构南京正联知识产权代理有限公司32243

代理人王素琴

(51)Int.CI.

H01B5/14(2006.01)

HO1B13/00(2006.01)

审查员徐晨琛

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

一种低表面粗糙度透明电极的制作方法

(57)摘要

CN113782256B本发明提供一种低表面粗糙度透明电极的制作方法，具体是一种采用丝网印刷技术制备大面积、低成本、图案化透明电极的方法，重点是解决丝网印刷图案粗糙度较高的问题，通过在基底上先涂覆一层平滑的导电材料，然后进行丝网印刷导电图案，最后再涂覆一层表面活性剂改性的复合导电材料并进行薄膜转印来得到低表面粗糙度的透明电极。本方法制备的透明电极在剥离后保持了原基底的光滑表面，具有极低的表面粗糙度，并显著提高了薄膜的转印成功率，可直接

CN113782256B

CN113782256B权利要求书1/1页

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1.一种低表面粗糙度透明电极的制作方法，其特征在于，所述制作方法具体步骤为：

步骤S1:在表面光滑的A基底上涂覆一层平滑的导电材料，并进行烘干处理；

步骤S2:采用丝网印刷油墨在步骤S1所述导电材料上层进一步印刷，所述印刷为丝网印刷，形成丝网印刷图案，并进行烘干处理；

步骤S3:在步骤S2处理后的所述丝网印刷图案上层刮涂一层复合导电材料，并进行烘干处理；

步骤S4:将液态的B基底材料涂覆到步骤S3处理后的所述复合导电材料上层，使步骤S1中所述的导电材料、步骤S2中所述的丝网印刷图案、步骤S3中所述复合导电材料全部嵌入到B基底材料中，并采用真空除泡和加热固化过程使B基底材料形成固态薄膜；

步骤S5:将B基底连带步骤S1中所述导电材料、步骤S2中所述丝网印刷图案和步骤S3中所述复合导电材料从A基底上剥离，即得到所述透明电极；

所述A基底是玻璃、聚对苯二甲酸乙二醇酯PET、聚酰亚胺PI或硅片中的任意一种；

所述B基底是聚二甲基硅氧烷PDMS或者氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物SEBS中的任意一种；

在A基底上涂覆的导电材料为银纳米线、铜纳米线、聚3,4-乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐PEDOT:PSS或石墨烯中的任意一种；

所述丝网印刷油墨为银纳米线油墨、铜纳米线油墨、银纳米颗粒油墨、铜纳米颗粒油墨、聚3,4-乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐PEDOT:PSS油墨或石墨烯油墨中的任意一种；

所述复合导电材料为银纳米线+聚3,4-乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐PEDOT:PSS、银纳米线+石墨烯、铜纳米线+聚3,4-乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐PEDOT:PSS、铜纳米线+石墨烯中的任意一种经非离子表面活性剂改性后的复合导电材料。

2.根据权利要求1所述的一种低表面粗糙度透明电极的制作方法，其特征在于，所述改性所用的非离子表面活性剂为长链脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、聚氧乙烯烷基胺、聚氧乙烯烷基酰胺和聚醚类中的任意一种。

CN113782256B说明书1/4页

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一种低表面粗糙度透明电极的制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及一种低表面粗糙度透明电极的制作方法，属于新一代信息技术产业领域。

背景技术

[0002]随着太阳能电池、发光二极管、平板显示、以及电子传感器等领域的快速发展，要求所使用的透明电极具备低成本、高电导率、高透光率、低表面粗糙度等性能。丝网印刷技术在低成本、大面积、图案化薄膜的制备方面展示出巨大的优势，现有技术中透明电极的图案化的金属纳米结构的制备方法是直接在基底材料上通过丝网印刷形成图案化的金属纳米结构，如何降低丝网印刷图案的粗糙度仍是一个挑战性的难题，电极表面粗糙度对后续功能层