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棕化层压工艺规范

2.范畴：适用于层压工序制程能力的管控。

3、职责：

3.1层压工序工艺工程师按规范要求管控该工序制程能力：

扁制与更新。

3.2技中心负责该规范的Z

4.模块

划分：

规范模块内容

序号

1制程目标工序产品能力、设备能力、制程能力、产品类型及工艺流程

2工序资源工序设备物料资源

3差不多原理工序药水反应机理、设备作用原理

4工艺原则工序参数设定原则、生产操纵原则及专门产品要求

5工艺爱护工序爱护保养内容方法和标准

6制程监控工序制程监控内容及制程测试方法和标准

7制程改善制程状态改善方法和途径

8偏差处理规范和生产实际偏差的处理方法和途径。

5.制程目标

5.1产品能力：详见附件三《层压工序比品能力参数表》

5.2设备能力：详见附件二《层压工序设备能力参数表》

5.3制程能力：详见附件四《层压工序制程能力参数表》

5.4产品类型和工艺流程

产品类型工艺制作流程

常规板来板棕化一预叠一叠合一压合-*X-Ray钻靶一铳边一出板

内层底铜大于等于20Z板，盲孔板、高频板

来板一棕化一烘板一预叠一叠合一压合一X-Ray钻靶一铳边一出板

来板一烘板f棕化一烘板f预叠f叠合一压合一X-Ray钻靶铳边一出

内层过电镀的板

板

6.工序资源

6.1设备资源：详见附件六《层压工序设备列表》

6.2物料资源：详见附件五《层压工序物料列表》

7、差不多原理

7.1棕化

内层芯板通过棕化处理后，在铜面形成一层平均的棕色有机金属膜，可增强铜面与半固化片的结合力，同时在高温乐

合过程中，阻止铜与半固化片的氨基发生反应。产品实现的差不多原理有药水作用原理、设备作用原理等。

7.1.1棕化反应机理

7.1.1.1酸洗

酸洗的要紧作用是去除铜表面氧化物，中和残余退膜液，粗化铜面，保证稳固的微蚀、成膜及着色。酸洗段的要紧

成分为过硫酸钠N（aPS）、H2SO4o其反应机理如下:

Cu+CuO+H2s€）4+Nii2szOg-ZCuSOa+NsSOs+Hg

阻碍

酸洗

成效

的因

素及阻碍因素具体阻碍

阻碍

趋势

如下：

序号

NaPS浓度是阻碍酸洗段成效的要紧阻碍因素，随着NaPS浓度的增大，微蚀量增大，

1NaPS浓度NaPS浓度过高会阻碍内层铜厚及线宽的操纵。

H2S04浓度是阻碍酸洗成效的因素之\H2S04浓度过低，酸洗成效不佳会导致棕化不

2H2sol浓度良。

依照阿伦尼乌斯方程：lnk=lnA-Ea/RT。其中k为速率常数，Ea为实验活化能，A为指数

因子。当温度越高，速率常数越大，反应速率越大。但温度过高，乂不利于水操纵与

3温度

爱护。

喷淋压力阻碍水交换速率，喷淋压力过低，酸洗成效不佳会导致棕化不良。喷淋压力

4喷淋压力过高，易损害板面。

除氧化物、微蚀需要一定的作用时刻，