《GBT+30858-2025 蓝宝石单晶衬底抛光片》练习题试卷及参考答案.pdfVIP

《GBT+30858-2025蓝宝石单晶衬底抛光片》练习题

试卷及参考答案

试卷总分：100分

考试时间：90分钟

一、单选题（共15题，每题2分，共30分）

1.GB/T30858-2025《蓝宝石单晶衬底抛光片》标准的实施日期是？

A.2025-10-31

B.2025-12-01

C.2026-05-01

D.2026-10-31

2.本文件替代了以下哪个标准？

A.GB/T30858—2010

B.GB/T30858—2014

C.GB/T30858—2018

D.GB/T30858—2020

3.根据标准第1章（范围），下列哪种描述的衬底片不适用本文件？

A.直径50.8mm的蓝宝石衬底抛光片

B.直径200.0mm的蓝宝石衬底抛光片

C.直径250.0mm的蓝宝石衬底抛光片

D.用于外延生长半导体薄膜的蓝宝石衬底片

4.依据前言中的主要技术变化，下列哪项是2025版相较于2014版增加的内容？

A.增加了“料污”和“橘皮”的术语和定义

B.增加了“蓝宝石”的术语和定义

C.增加了“气孔”的定义

D.增加了“亚表面损伤”的定义

5.针对diam=100.0mm的蓝宝石衬底片，其标称边缘去除为多少毫米？

A.0.5

B.1.0

C.1.5

D.2.0

6.根据表2，属于I级位错密度要求的范围是？

A.500个/cm²

B.500~1000个/cm²

C.1000个/cm²

D.100~500个/cm²

7.对于表面取向为C面（偏M轴0.2°±0.1°，偏A轴0°±0.1°）的衬底片，

其主参考面或参考槽取向应为？

A.A面(1120)±0.3°或M面(1010)±0.3°

B.C面(0001)±0.3°或R面(1012)±0.3°

C.C面(0001)±0.3°

D.C轴在(1012)面上的投影逆时针旋转45°±0.3°

8.参考表4，对于直径为150.0mm的衬底片，其参考面尺寸的要求（若无参考

槽）是？

A.16.0±1.0mm

B.30.0±1.0mm

C.47.5±1.0mm

D.无参考面要求

9.根据表4，直径为200.0mm的蓝宝石衬底片，其翘曲度的要求是？

A.≤0.015mm

B.≤0.020mm

C.≤0.025mm

D.≤0.030mm

10.根据表5和图1，参考槽底角半径的要求是？

A.92±3°

B.1.00~1.25mm

C.1.0±0.1mm

D.未作规定

11.蓝宝石衬底片的正表面粗糙度（Ra）要求是？

A.不大于0.3nm

B.不大于0.7µm

C.0.7µm~1.2µm

D.不大于1.2μm

12.依据表7（背表面缺陷），对“亮点”的要求是？

A.不允许存在

B.直径小于0.2mm的亮点不超过5个

C.直径小于0.5mm的亮点不超过3个，且间距大于5mm

D.直径小于1.0mm的亮点允许存在

13.根据7.4条取样规则，下列哪项检验项目必须进行“逐件检验”？

A.表面取向

B.尺寸

C.正表面缺陷

D.颗粒度

14.依据表10，对于“翘曲度”这一检验项目，其接收质量限（AQL）是？

A.0.65

B.1.0

C.1.5

D.2.5

15.随行文件中的“产品质量保证书”应包括以下哪项内容？

A.产品数量

B.防潮标志

C.对产品质量所负的责任

D.包装日期

二、多选题（共10题，每题3分，共30分）

1.以下关于“沾污”和“橘皮”的说法，哪些是正确的（依据标准3.1和3.2）？

A.沾污是非有意地附加在蓝宝石衬底片表面的物质。

B.正表面沾污可能由吸盘印、手指或手套印迹形成。

C.橘皮是表面呈现的如橘子皮状的规则凹陷区域。

D.橘皮可能由化学减薄不均匀或抛光液pH值不合适导致。

2.根据标准5.1，蓝宝石衬底片中杂质总含量要求小于100mg/kg的杂质元素包

括以下哪些？

A.Li,Na,Mg,Si

B.Ca,Ti,V,Cr

C.Fe,Co，Nb，Cu

D.Au,Ag,Pt

3.关于蓝宝石衬底片“尺寸