CN111036155A 一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法与装置 （深圳大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN111036155A布日2020.04.21

(21)申请号201911286500.5

(22)申请日2019.12.13

(71)申请人深圳大学

地址518060广东省深圳市南山区南海大

道3688号

(72)发明人尹金德闫培光周泽文陈浩于洋阮双琛

(74)专利代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所12201

代理人李素兰

(51)Int.CI.

B01J13/02(2006.01)

B01J13/04(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法与

装置

(57)摘要

CN111036155A本发明公开了一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法和装置，该装置包括加热系统和加压系统两部分；其中，所述加热系统包括Ω型加热环(2)和控制电源(4),为空心石英光纤(1)提供900-1000℃的高温均匀加热；所述加压系统包括配气室(6)、氮气罐(8)和真空泵(13),为空心石英光纤(1)内部提供200-300kPa恒定气压；采用全角度非接触均匀辐射加热成型法，沿着空心光纤圆周方向非接触辐射均匀加热到熔融状态，同步在空心光纤内部施加气压，光纤外壁在内外压差作用下逐步膨胀成型，制备出高质量空心微球谐振腔。本发明制备的空心微球谐振腔具有超薄壁、高圆度、低偏心度的优点，在高灵敏度折射率

CN111036155A

CN111036155A权利要求书1/1页

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1.一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一、内径为50～80μm、外径为120～200μm的空心石英光纤(1)一端制作熔融密封球(3)、另一端采用光纤密闭连接器(5),将空心石英光纤(1)与配气室(6)密封连通；

步骤二、加压过程，具体为：将配气室(6)和空心石英光纤(1)内的空气抽出；调节设置于氮气罐(8)罐口处的氮气罐开关阀(11)与氮气罐减压阀(12),将氮气输送到配气室(6),平衡配气室(6)内的进出气压，达到设定的氮气恒压范围200～300kPa,通过光纤密闭连接器(5)将配气室(6)内氮气气压输入到空心石英光纤(1)内部；

步骤三、加热过程，具体为：对空心石英光纤(1)内部施加氮气压力后，采用Ω型加热环(2)为空心石英光纤(1)沿圆周方向均匀加热；通过控制电源(4)调控Ω型加热环(2)两端施加的电压大小，精确调节加热温度；最终，完成薄壁微球谐振腔(15)的制备。

2.如权利要求1所述的一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法，其特征在于，该方法还通过调控氮气恒压的大小、Ω型加热环(2)两端施加的电压和加热时间长度，实现薄壁微球谐振腔(15)空心微球的壁厚、圆度和直径的精确控制。

3.一种超薄壁空心微球光谐振腔制作装置，其特征在于，该装置包括加热系统和加压系统两部分；其中，所述加热系统包括Ω型加热环(2)和控制电源(4),为空心石英光纤(1)提供900-1000℃的高温均匀加热；所述加压系统包括配气室(6)、氮气罐(8)和真空泵(13),为空心石英光纤(1)内部提供200-300kPa恒定气压；所述配气室(6)通过放气阀(9)与所述真空泵(13)相连通，所述氮气罐(8)通过气管(10)与所述配气室(6)连通，配气室(6)上安装气压表(7)监控舱内气压大小；待制备的空心石英光纤(1)与配气室(6)密封连通，所述氮气罐(8)罐口处设置有氮气罐开关阀(11)与氮气罐减压阀(12),通过所述氮气罐开关阀(11)与所述氮气罐减压阀(12)将氮气输送到配气室(6)。

4.如权利要求3所述的一种超薄壁空心微球光谐振腔制作装置，其特征在于，所述空心石英光纤(1)处于所述Ω型加热环(2)中心位置。

CN111036155A说明书1/4页

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一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法与装置

技术领域

[0001]本发明涉及光学微谐振腔领域，特别是涉及一种超薄壁的空心微球谐振腔制备方法及其制作装置。

背景技术

[0002]回音壁模式(Whisperinggallerymodes,WGM)是一种基于光全反射约束机制的