CN109680265A 一种石墨舟及其制作方法 （浙江晶科能源有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN109680265A

(43)申请公布日2019.04.26

(21)申请号201811593618.8

(22)申请日2018.12.25

(71)申请人浙江晶科能源有限公司

地址314416浙江省嘉兴市海宁市袁花镇

袁溪路58号

申请人晶科能源有限公司

(72)发明人熊诗龙金井升王东赵迎财

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

代理人罗满

(51)Int.CI.

C23C16/513(2006.01)

C23C16/30(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种石墨舟及其制作方法

(57)摘要

CN109680265A本申请公开了一种石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨杆、石墨块以及工艺卡点，所述陶瓷杆用于固定所述石墨舟片，所述石墨杆用于固定所述石墨舟片与所述石墨块，所述石墨舟表面设置有预设厚度的氮氧化硅。本申请中的石墨舟表面设置有预设厚度的氮氧化硅，在对硅片镀氮化硅膜过程中，将硅片放置在石墨舟中，由于石墨舟表面有预设厚度的氮氧化硅，氮化硅与氮氧化硅材质相似，两者间的摩擦系数在0.02左右，显

CN109680265A

CN109680265A权利要求书1/1页

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1.一种石墨舟，其特征在于，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨杆、石墨块以及工艺卡点，所述陶瓷杆用于固定所述石墨舟片，所述石墨杆用于固定所述石墨舟片和所述石墨块，所述石墨舟表面设置有预设厚度的氮氧化硅。

2.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述预设厚度的取值范围为75nm-80nm,包括端点值。

3.一种石墨舟制作方法，其特征在于，包括：

将空石墨舟放入PECVD炉管中；

对所述PECVD炉管进行预处理；

对所述空石墨舟沉积氮氧化硅，以得到石墨舟。

4.如权利要求3所述的石墨舟制作方法，其特征在于，所述预处理包括：

向所述PECVD炉管通入惰性气体，以去除所述PECVD炉管内的空气；

对所述PECVD炉管抽真空。

5.如权利要求4所述的石墨舟制作方法，其特征在于，所述对所述空石墨舟沉积氮氧化硅包括：

控制温度在450℃-475℃,包括端点值，对所述石墨舟沉积氮氧化硅。

6.如权利要求4所述的石墨舟制作方法，其特征在于，所述对所述石墨舟沉积氮氧化硅包括：

控制沉积时间在1100s-1300s,包括端点值，对所述石墨舟沉积氮氧化硅。

7.如权利要求4所述的石墨舟制作方法，其特征在于，所述对所述石墨舟沉积氮氧化硅包括：

控制SiH?气体和N?0气体的流量分别在350sccm-450sccm和4500sccm-5000sccm,包括所有端点值，对所述石墨舟沉积氮氧化硅。

8.如权利要求4所述的石墨舟制作方法，其特征在于，所述对所述石墨舟沉积氮氧化硅包括：

控制沉积压力在1800mTorr-2000mTorr,包括端点值，对所述石墨舟沉积氮氧化硅。

9.如权利要求4所述的石墨舟制作方法，其特征在于，所述对所述石墨舟沉积氮氧化硅包括：

控制沉积功率在5800W-6500W,包括端点值，对所述石墨舟沉积氮氧化硅。

10.如权利要求3至9任一项所述的石墨舟制作方法，其特征在于，在所述对所述空石墨舟沉积氮氧化硅，以得到石墨舟之后还包括：

向所述PECVD炉管通入所述惰性气体，以去除所述PECVD炉管内的沉积气体；

从所述PECVD炉管中退出所述石墨舟。

CN109680265A说明书1/5页

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一种石墨舟及其制作方法

技术领域

[0001]本申请涉及太阳电池技术领域，特别是涉及一种石墨舟及其制作方法。

背景技术

[0002]太阳能是一种绿色环保、储量无限、使用过程不会产生任何污染物的能源。太阳电池可以将太阳能转化为电能，因此，太阳电池行业近年来发展迅速。PERC电池(PassivatedEmitterandRearCell,发射极及背面钝化电池)和N型双面电池由于其前后两面钝化，大幅降低表面复合，从而提高电池转化效率，成为太阳电池行业效益较好的两种电池。

[0003]