CN109036705A 一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法 （浙江浙能技术研究院有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN109036705A

(43)申请公布日2018.12.18

(21)申请号201810644277.6

(22)申请日2018.06.21

(71)申请人浙江浙能技术研究院有限公司

地址311121浙江省杭州市余杭区余杭塘

路2159-1号浙能创业大厦

(72)发明人周阳辛臧孝贤骆周扬王超李卓斌

(74)专利代理机构浙江翔隆专利事务所(普通合伙)33206

代理人戴晓翔

(51)Int.CI.

H01B13/00(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图1页

(54)发明名称

一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法

(57)摘要

CN109036705A本发明涉及薄膜电极制造领域，特别是一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法。针对现有三维薄膜电极表层的薄膜电极层变形加工麻烦、变形效果难控制以及制造周期长效率低等缺陷，本发明提供一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法，包括依序进行的以下步骤：(a)磨料垫挤压薄膜电极，使用表面固定磨料的磨料垫靠近抵触并挤压薄膜电极表层，让所述表层产生形变生成与磨料形状相配的三维起伏；(b)移除磨料垫，解除对磨料垫的施压并移除磨料垫，制得三维薄膜电极。本发明所述方法制作三维薄膜电

CN109036705A

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CN109036705A权利要求书1/1页

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1.一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法，包括依序进行的以下步骤：

(a)磨料垫挤压薄膜电极，使用表面固定磨料(3)的磨料垫(4)靠近抵触薄膜电极，然后沿垂直薄膜电极表层平面的方向对磨料垫(4)施压，挤压薄膜电极表层，使磨料垫上的磨料(3)嵌入薄膜电极表层，让所述表层产生形变生成与磨料(3)形状相配的三维起伏，所述磨料(3)固定于磨料垫(4)的挤压侧表面并凸出于磨料垫(4),所述薄膜电极由基底层(1)和设于其上的薄膜电极层(2)组成，且薄膜电极层(2)为薄膜电极表层；

(b)移除磨料垫(4),解除对磨料垫(4)的施压并沿垂直薄膜电极表层平面的方向移除磨料垫(4),制得三维薄膜电极，所述三维薄膜电极表层设有高低不平的三维起伏，所述三维起伏和磨料垫(4)上的磨料(3)嵌入薄膜电极表层部分的形状相配。

2.根据权利要求1所述的一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述步骤(a)中磨料(3)镶嵌固定于磨料垫(4)上，所述磨料垫(4)上开有和磨料(3)镶嵌端匹配的嵌孔。

3.根据权利要求1所述的一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述薄膜电极的基底层(1)为单层结构或多层结构。

4.根据权利要求3所述的一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述基底层(1)为单层的变形层，变形层在步骤(a)所述的挤压过程中随薄膜电极层(2)形状改变同步形变；或者所述基底层(1)为单层的刚性层，刚性层在步骤(a)所述的挤压过程中保持平面状态不随薄膜电极层(2)形状改变同步形变。

5.根据权利要求3所述的一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述基底层(1)为多层结构，多层结构中紧邻薄膜电极层(2)的一层为变形层，变形层在步骤(a)所述的挤压过程中随薄膜电极层(2)形状改变同步形变；或者多层结构中紧邻薄膜电极层

(2)的一层为刚性层，刚性层在步骤(a)所述的挤压过程中保持平面状态不随薄膜电极层

(2)形状改变同步形变。

6.根据权利要求1至5之一所述的一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述薄膜电极层(2)基于石墨烯薄膜或碳纳米管薄膜制成。

CN109036705A说明书1/3页

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一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法

技术领域

[0001]本发明涉及薄膜电极制造领域，特别是一种使用固定磨料制作三维薄膜电极的方法。

背景技术

[0002]申请人在先申请了一种三维碳纳米管薄膜电极和一种三维石墨烯薄膜电极，这两种三维薄膜电极的表层均为高低不平具有三维起伏的薄膜电极层(即导电薄膜),所述三维薄膜电极的导电薄膜摆脱了原来常规薄膜电极平面面积的限制，获得比平面面积更大的接触面积，进而为使用薄膜电极的电子