CN108896528B 基于d型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器及制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN108896528B(45)授权公告日2023.07.25

(21)申请号201810660939.9

(22)申请日2018.06.25

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN108896528A

(43)申请公布日2018.11.27

(73)专利权人南京信息工程大学

地址210032江苏省南京市江北新区宁六

路219号

(72)发明人倪海彬阮成尧章镕波郭晓董钟田鸣宇

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200

专利代理师刘莎

(56)对比文件

CA2586197A1,2006.05.11

CN104733998A,2015.06.24

JP2010256161A,2010.11.11

JP2013024607A,2013.02.04

US2010182607A1,2010.07.22

US2012050732A1,2012.03.01

VishalVashisthaetal..Polarizationtunableall-dielectriccolorfltersbasedoncross-shapedSi

nanoantennas.ScientificReports.2017,第07卷第1-8页.

审查员李重阳

(51)Int.CI.

GO1N21/65(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器及制作方法

(57)摘要

CN108896528B本发明公开了一种基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器及制作方法，该检测器的主要结构是非对称纳米环形腔阵列、侧抛的D型光纤和光纤连接头。在侧抛的D型光纤的侧抛表面加工纳米环形腔阵列，环形腔由半导体增益材料和金属材料交替形成，从而提高表面等离激元信号强度并调制圆柱形表面等离激元波长，同时环形腔内结构形状设计为非对称，从而实现偏振敏感性；腔表面由一层5nm介质隔离保护。D型光纤一端入射激发光，激发金属环形腔内的表面等离激元效应，使环内电场强度显著增强，从而激发金属环表面吸附分子的SERS信号，信号耦合回D

CN108896528B

CN108896528B权利要求书1/2页

2

1.基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器，包括光纤及其两端的光线连接头，其特征在于，所述光纤中包括一段侧抛的D型光纤，在侧抛的D型光纤的侧抛表面上覆盖一层微球薄膜，所述微球薄膜由阵列排布的单层聚苯乙烯胶体微球及其间隙内填充的凝胶构成，所述凝胶未覆盖聚苯乙烯胶体微球的顶部，由每个所述聚苯乙烯胶体微球的顶部向内刻蚀形成一个环形凹槽；在每个刻蚀后的聚苯乙烯胶体微球的顶部向外设置依次由金属膜-半导体膜-金属膜-半导体膜-金属膜-半导体膜交替构成的纳米环形腔，形成纳米环形腔阵列，其中，所述纳米环形腔在竖直轴圆对称方向为非对称结构，以实现偏振敏感性。

2.根据权利要求1所述的基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器，其特征在于，采用液面自组装的单层纳米球做掩膜来制作纳米环形腔。

3.根据权利要求1所述的基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器，其特征在于，侧抛的D型光纤的长度为10mm。

4.根据权利要求1所述的基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器，其特征在于，纳米环形腔阵列设置在光纤中部。

5.根据权利要求1所述的基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器，其特征在于，采用轮式侧抛技术对光纤进行抛磨来制作侧抛的D型光纤。

6.根据权利要求1所述的基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器，其特征在于，光纤通过两端的光纤连接头分别与光源以及光谱分析仪连接。

7.根据权利要求1所述的基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器，其特征在于，所述纳米环形腔阵列的表面还镀有一层SiO?膜。

8.如权利要求1至7中任一所述的基于D型光纤和纳米环形腔的在线分子检测器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1,取一根光纤，并对光纤中的一段进行抛磨形成一段侧抛的