CN108593717A 一种湿度传感器及其制作方法、电子设备 （京东方科技集团股份有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN108593717A

(43)申请公布日2018.09.28

(21)申请号201810384017.X

(22)申请日2018.04.26

(71)申请人京东方科技集团股份有限公司

地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人国家纳米科学中心

(72)发明人李红变史济东刘恺然季春燕李新国李文波

(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291

代理人郭润湘

(51)Int.CI.

GO1N27/12(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图5页

(54)发明名称

一种湿度传感器及其制作方法、电子设备

(57)摘要

CN108593717A本发明公开了一种湿度传感器及其制作方法、电子设备，包括纳米纸基底，位于纳米纸基底表面的导电薄膜，以及分别与导电薄膜相对的两端电连接的连接电极；导电薄膜包括多个导电基元，相邻的导电基元之间相互搭接；环境中湿度越大，纳米纸基底膨胀的越大，导电基元之间的搭接程度越低，导致导电薄膜的电阻越大，最终呈现导电薄膜的电阻随着纳米纸基底在湿度变化环境中的膨胀变化而变化。由于采用可降解的纳米纸作为基底，使得湿度传感器对环境更加友好；由于纳米纸透气性好，有利于应用于可穿戴设备。湿度传感器基于纳米纸基底的膨胀而引起导电薄膜导电性能发生变化，对于导电薄膜的种

CN108593717A

CN108593717A权利要求书1/1页

2

1.一种湿度传感器，其特征在于，包括：纳米纸基底，位于所述纳米纸基底表面的导电薄膜，以及分别与所述导电薄膜相对的两端电连接的连接电极；

所述导电薄膜包括多个导电基元，相邻的所述导电基元之间相互搭接；

所述导电薄膜的电阻随着所述纳米纸基底在湿度变化环境中的膨胀变化而变化。

2.如权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，所述导电基元包括纳米棒和/或纳米片。

3.如权利要求2所述的湿度传感器，其特征在于，所述纳米棒包括碳纳米管、Au纳米棒、Ag纳米棒和Cu纳米棒之一或组合。

4.如权利要求2所述的湿度传感器，其特征在于，所述纳米棒的直径为20nm-200nm,所述纳米棒的长度和直径之比为5-20。

5.如权利要求2所述的湿度传感器，其特征在于，所述纳米片包括石墨烯纳米片、Au纳米片、Ag纳米片和Cu纳米片之一或组合。

6.如权利要求2所述的湿度传感器，其特征在于，所述纳米片的最大长度为20nm-2μm,所述纳米片的厚度为2nm-5nm。

7.如权利要求1-6任一项所述的湿度传感器，其特征在于，所述导电薄膜的电阻在200欧姆-20000欧姆。

8.一种如权利要求1-7任一项所述的湿度传感器的制作方法，其特征在于，包括：

分别形成纳米纸和导电薄膜；

将所述导电薄膜转移至所述纳米纸的表面；

在所述导电薄膜的相对的两端固定连接电极。

9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，形成导电薄膜，具体包括：

将导电基元的乙醇分散液滴到水面上，随着所述乙醇挥发，所述导电基元自组装形成导电薄膜。

10.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，将所述导电薄膜转移至所述纳米纸的表面，具体包括：

利用硅片从水面上捞起所述导电薄膜；

吹干后采用热释放胶带固定所述导电薄膜；

刻蚀去除所述硅片，得到所述导电薄膜和所述热释放胶带的复合结构；

将所述复合结构转移至所述纳米纸的表面；

加热去除所述热释放胶带。

11.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的湿度传感器。

CN108593717A说明书1/5页

3

一种湿度传感器及其制作方法、电子设备

技术领域

[0001]本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种湿度传感器及其制作方法、电子设备。

背景技术

[0002]环境湿度对工业生产和人类生活具有重要影响。灵敏检测环境的湿度，对于安全生产及人类健康生活具有重要意义。目前商用湿度计主要基于水分挥发产生的温度变化及活性层吸水后产生的电导变化进行湿度的检测，其响应时间较长，在湿度检测过程中存在明显的滞后效应。此外，该类湿度计主要为刚性材料，携带不便。

[0003]近年来，基于柔性基底的湿度传感器相继被制出，柔性