CN108562971B 一种波导光栅滤波器及其制作方法 （华中科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN108562971B公告日2020.04.28

(21)申请号201810409526.3

(22)申请日2018.05.02

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN108562971A

(43)申请公布日2018.09.21

(73)专利权人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市珞喻路1037号

(72)发明人陈开段飞余永林

(74)专利代理机构北京君智知识产权代理事务所(普通合伙)11305

代理人黄绿雯

(51)Int.CI.

GO2B6/12(2006.01)

GO2Bb/138(2006.01)

GO2F1/01(2006.01)

(56)对比文件

US2017194764A1,2017.07.06,说明书具体实施方式部分以及说明书附图1-2.

CN102200667A,2011.09.28,说明书第26-

88段以及说明书附图1-20.

CN102478686A,2012.05.30,全文.

CN102486550A,2012.06.06,全文.

EP2866317A1,2015.04.29,全文.

CN104635298A,2015.05.20,全文.

审查员马富东

权利要求书1页说明书5页附图5页

(54)发明名称

一种波导光栅滤波器及其制作方法

(57)摘要

CN108562971B1本发明提供一种波导光栅滤波器，所述波导光栅滤波器包括衬底(1)和波导(2),还包括用于支撑波导(2)的梁柱结构(3);所述梁柱结构(3)包括位于波导(2)两侧、设置在衬底(1)上的柱结构(302)和用于连接柱结构(302)的梁结构(301);波导(2)与衬底(1)之间具有空气隙(201)。本发明波导光栅滤波器采用热调谐的方法改变波导光栅滤波器的光谱特性，通过在波导下方构造空气隙实现波导与衬底之间的局部热隔离结构，阻碍了热的垂直流动，从而降低波导光栅滤波器的功耗。本发明的波导光栅滤波器具有低功耗、调谐效率高、调谐较快、结构稳定、易

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CN108562971B权利要求书1/1页

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1.一种波导光栅滤波器，所述波导光栅滤波器包括衬底(1)和设置在衬底(1)上的波导(2),所述波导(2)包括波导主体(202)、设于波导主体(202)以上的二氧化硅上包层(203)和设于二氧化硅上包层(203)以上的薄膜加热器层(204),所述波导主体(202)两侧刻有光栅；

其特征在于所述波导光栅滤波器还包括用于支撑波导(2)的梁柱结构(3);

所述梁柱结构(3)包括位于波导(2)两侧、设置在衬底(1)上的柱结构(302)和用于连接柱结构(302)的梁结构(301);

波导(2)与衬底(1)之间具有空气隙(201);

所述波导光栅滤波器的制作方法包括以下步骤：

(1)取SOI晶片，在所述晶片上层涂覆光刻胶，构造波导(2)和梁柱结构(3);所述SOI晶片具有硅材料衬底、二氧化硅中间层和顶层硅；

(2)对所述光刻胶层曝光显影，除去波导(2)和梁柱结构(3)以外的光刻胶层，并以余下的光刻胶层为掩膜进行刻蚀，除去掩膜以外的顶层硅，得到两侧具有光栅的波导；

(3)通过湿法腐蚀掉所述波导(2)下方的二氧化硅中间层，构成空气隙(201),且保留梁柱结构(3)部分二氧化硅中间层以构成柱结构(302);

(4)在波导(2)上部沉积二氧化硅上包层(203);

(5)在二氧化硅上包层(203)的上表面构造薄膜加热器层(204)。

2.根据权利要求1所述的波导光栅滤波器，其特征在于所述梁柱结构(302)包括对称设置在波导主体(202)两侧、周期性设置的多个梁柱单元，相邻梁柱单元间距为5～20μm。

3.根据权利要求1所述的波导光栅滤波器，其特征在于所述波导主体(202)为脊形波导，所述光栅刻在脊形波导的内脊两侧。

4.根据权利要求3所述的波导光栅滤波器，其特征在于所述光栅是矩形光栅。

5.根据权利要求3所述的波导光栅滤波器，其特征在于所述光栅的中心波长在通信波段C波段。

6.根据权利要求1所述的波导光栅滤波器，其特征在于所述空气隙(201)的高度为200-300nm。

7.根据权利要求1所述的波导光栅滤波器，其特征在于所述薄膜加热器