CN108493746A 一种微型脊波导的制作方法及具有该波导的激光器 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN108493746A

(43)申请公布日2018.09.04

(21)申请号201810454173.9

(22)申请日2018.05.14

(71)申请人南京信息工程大学

地址210044江苏省南京市浦口区宁六路

219号

(72)发明人常建华房久龙刘振兴李红旭豆晓雷赵勇毅

(74)专利代理机构南京钟山专利代理有限公司32252

代理人戴朝荣

(51)Int.CI.

HO1S3/063(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图3页

(54)发明名称

一种微型脊波导的制作方法及具有该波导的激光器

(57)摘要

CN108493746A本发明公开了一种微型脊波导的制作方法及具有该波导的激光器，包含以下步骤：对LiNb03晶体进行抛光，并清洗抛光后样品的表面；在晶体表面蒸发一层纳米级别厚度的镱膜，并在高温环境进行扩散处理；对晶体进行软质子交换处理，形成平面光波导；在平面波导两端面镀上激光谐振腔膜；利用金刚石划片切割技术，切割成脊形结构；将泵浦光耦合进脊波导激光器中，产生1061nm的激光。本发明降低了光折变损伤，保持晶体原有的晶相，从而减少了晶体中晶

CN108493746A

鼎体抛光、清洗处理

鼎体抛光、清洗处理

在晶体表面蒸发一层镱膜、高温扩数处理

软质子交换处理

在两个端面镀上激光谐振胶膜

精密切割形成脊波导

CN108493746A权利要求书1/2页

2

1.一种微型脊波导的制作方法，其特征在于包含以下步骤：

步骤一：对LiNbO?晶体进行抛光，并清洗抛光后样品的表面；

步骤二：在晶体表面蒸发一层纳米级别厚度的镱膜，并在高温环境进行扩散处理；

步骤三：对晶体进行软质子交换处理，形成平面光波导；

步骤四：在平面波导两端面镀上激光谐振腔膜；

步骤五：利用金刚石划片切割技术，切割成脊形结构；

步骤六：将泵浦光耦合进脊波导激光器中，产生1061nm的激光。

2.按照权利要求1所述的一种微型脊波导的制作方法，其特征在于：所述步骤一具体为

1.1利用化学-机械研磨的方法对晶体端面抛光处理；

1.2依次利用丙酮溶液、无水乙醇、蒸馏水对抛光后的晶体进行清洗处理；各自清洗15分钟。

3.按照权利要求1所述的一种微型脊波导的制作方法，其特征在于：所述步骤二具体为

利用精密机械电子束蒸发技术在铌酸锂晶体表面沉积一层厚度为30nm的镱膜，接着将晶体放置在高温气氛炉中，为了防止波导表面氧化物分解，在有氧环境下对带有镱膜的晶体进行高温扩散处理，扩散温度设置在1100摄氏度，扩散时间设为30小时。

4.按照权利要求1所述的一种微型脊波导的制作方法，其特征在于：所述步骤三中软质子交换具体为

3.1将苯甲酸锂与苯甲酸以一定的比例混合，在增加置换液中锂离子浓度中，苯甲酸锂

所占有的比例是一重要因素，定义苯甲酸锂浓度值为

其中ρ为软质子交换

阈值，WLiBA为苯甲酸锂粉末的重量，WBA苯甲酸粉末的重量；

3.2由扩散理论可知，离子交换速度，由扩散系数、温度、扩散表面上的浓度梯度等因素决定的，而软质子交换温度的目标是在于一个步骤完成质子交换和退火两个过程，所以固定软质子交换温度为300℃,通过调节马弗炉的温控表来控制炉内温度，将温度设置为300℃,经过一定的恒温时间让晶片充分预热后，通过一定的转动装置转动玻璃管使苯甲酸和苯甲酸锂溶液浸没晶片，开始交换，持续4天软质子交换后，再转动玻璃管使晶片从置换液中脱离出来，取出晶片；

3.3待马弗炉冷却并接近到室温后，先用丙酮、无水乙醇、去离子水依次超声清洗晶体表面，各十分钟，去除晶体表面的手印、油脂以及灰尘，首先丙酮可以去除晶体表面杂质，接着无水乙醇又溶于丙酮，最后去离子水冲洗表面残留的乙醇，最终完成整个的清洗过程。

5.按照权利要求1所述的一种微型脊波导的制作方法，其特征在于：所述步骤四具体为

在平面波导的两个抛光端面镀激光谐振腔膜，在光波进入波导方向的一端镀上918nm的增透膜和1061nm的高反膜，在光波输出波导的另外一个方向的一端镀上1061nm的增透膜和918nm的高反膜，形成波导激光器件。

6.按照权利要求1所述的一种微型脊波导的制作方法，其特征在于：所述步骤五具体为

利用金刚石划片切割技术，切割成脊形结构，切割宽度为8μm,切割深度为30μm;切割过程中，使用的刀片颗粒网孔尺