CN1514460A 光纤面板表面制作透明电极的方法 （西安理工大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局[51]Int.Cl?

H01J9/02

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号5

[43]公开日2004年7月21日[11]公开号CN1514460A

[22]申请日2003.7.23[21]申请5

[71]申请人西安理工大学

地址710048陕西省西安市金花南路5号

[72]发明人施卫侯磊刘秀琴赵卫

[74]专利代理机构西安通大专利代理有限责任公司

代理人李郑建

权利要求书2页说明书7页附图2页

[54]发明名称光纤面板表面制作透明电极的方法

[57]摘要

本发明公开了采用高温热解法将透明导电薄膜制备于微通道板选通X射线皮秒分幅相机的光纤面板上用作透明电极的方法。与其它镀膜方法相比，本方法具有制备工艺简单，生产设备及原材料价格低廉的优点。所制透明电极与光纤面板的结合强度大；耐酸碱腐蚀，稳定性好；薄膜方阻小于30Ω/□、平均透过率高于90%。通过实验测试证明了透明电极不但成功解决了电极打火现象、提高了图像的清晰度，而且减小了图像失真，提高了相机的分辨率。这种透明电极可普遍替代现有的条纹相机、微光夜视仪等仪器中的Al膜透明电极。

知识产权出版社出版5权利要求书第1/2页

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1.一种光纤面板表面制作透明电极的方法，其特征在于，采用高温热解法将透明导电薄膜制备于微通道板选通X射线皮秒分幅相机的光纤面板上，包括以下步骤：

1)确定光纤面板的温度特性

按照与金属环电极封装后的光纤面板的升温特性曲线，考虑玻璃与金属的热膨胀系数的差异，确定成膜温度范围为400℃T480℃;

2)原料配比

在成膜温度范围内，确定两种原料(NH?F、SnCl?·5H?O)的配比为F:Sn=2.5wt%～3.0wt%;

3)光纤面板表面的清洗

分别用蒸馏水和乙醇清洁光纤面板表面，祛除污渍及油污后，再放入超声清洗器中用70%的乙醇溶液超声清洗10min,取出置于洁净的烘箱中烘干备用；

4)透明电极的制备

(1)将按上述配比配制的源溶液经超声雾化器雾化，要求其雾化量为0.5ml/s～0.75ml/s,液滴颗粒小于0.5μm,均匀分布在直径约为10cm的柱形空间内；

(2)雾化液滴在载气输运下经预热装置加热到70℃后，送至加热到成膜温度范围的光纤面板表面，发生高温热解反应成膜；

(3)采用多次喷涂，且单次喷涂时间不长于10s,通过控制每次喷涂的

时间和喷涂次数控制透明电极的电阻；

5)退火处理5权利要求书第2/2页

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退火时，由温度由成膜温度降至330℃,降温速度控制为20℃/h;当温度从330℃降至室温时，降温速度控制为50℃/h。

2.如权利要求1所述的光纤面板表面制作透明电极的方法，其特征在于，所述成膜温度范围400℃T480℃内的最佳成膜温度为430℃。5说明书第1/7页

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光纤面板表面制作透明电极的方法

一、所属技术领域

本发明属于透明导电薄膜在高新领域中的新应用，涉及一种在光纤面板表面制备透明电极的方法，特别涉及一种采用高温热解法将透明导电薄膜制备于微通道板选通X射线皮秒分幅相机的光纤面板表面用作透明电极的方法。

二、背景技术

条纹相机是一套集光、机、电和计算机技术于一体的超高速摄影系统，是测量高速、超短发光现象的绝好设备。在核物理学、爆轰学、等离子体物理、电力放电以及燃烧化学等纳秒量级微弱发光现象的研究中，有着广泛的应用。在国外，从事条纹相机研究的机构主要是美国利弗莫尔实验室、日本滨松光电器件株式会社。在国内，南京近代声学国家重点实验室研制了多种型号不同用途的条纹相机；中物院核化所和西安光机所联合研制了MCP选通X射线皮秒分幅相机