CN1519793A 显示器件的制作方法.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200310123561.2

[51]Int.Cl?

G09F9/00

H01L21/00

[43]公开日2004年8月11日[11]公开号CN1519793A

[22]申请日2003.12.26

[21]申请号200310123561.2

[30]优先权

[32]2002.12.27[33]JP[31]379496/2002

[71]申请人株式会社半导体能源研究所地址日本神奈川县厚木市

[72]发明人岩渊友幸

[74]专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人程天正梁永

权利要求书2页说明书8页附图12页

[54]发明名称显示器件的制作方法

[57]摘要

当利用分步反复曝光的方法，在基板上形成多个显示器件时，本发明提供一种制作显示器件的方法，该方法即可以防止基板上的显示器件的静电破坏，又可以执行电路检查。将显示器件的从信号输入终端引出到基板边缘的线路图案通过实施曝光形成为和显示器件图案按一对一被反复重复的规则重复图案的布局。借助线路图案和能够与该线路图案脱附的导电性器具的接触与不接触，使显示器件的信号输入终端之间的短路状态和导通状态能够轻易地被更换，其结果是同时实现了基板上的显示器件的静电破坏对策和电路检查。

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知识产权出版社出版

200310123561.2权利要求书第1/2页

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1.一种制作显示器件的方法，所述方法包括以下步骤：

在基板上形成多个显示器件；

形成从所述显示器件的信号输入终端引出到所述基板边缘的线5路，其中，通过对包括和显示器件图案按一比一合为一体的线路图案

的重复图案执行曝光，从而形成所述线路；

以及将所述多个显示器件分割成单个显示器件。

2.根据权利要求1的制作显示器件的方法，其中，所述显示器件包括多个TFT。

103.一种制作显示器件的方法，所述方法包括以下步骤：

在基板上形成多个显示器件；

形成从所述显示器件的信号输入终端引出到所述基板边缘的线路；

设置可以拆卸的导电性器具，并使其和所述基板边缘的线路接

15触；

分离所述导电性器具和所述线路；

以及将所述多个显示器件分割成单个显示器件。

4.根据权利要求3的制作显示器件的方法，其中，所述导电性器具借助和在所述基板边缘的线路发生接触，使所述显示器件的信号输

20入终端之间发生短路。

5.根据权利要求3的制作显示器件的方法，其中，所述显示器件包括多个TFT。

6.一种制作显示器件的方法，所述方法包括以下步骤：

在基板上形成多个显示器件；

25形成从所述显示器件的信号输入终端引出到所述基板边缘的线路，其中，通过对包括和显示器件图案按一比一合为一体的线路图案的重复图案执行曝光，从而形成所述线路；

设置可以拆卸的导电性器具，并使其和所述基板边缘的线路接触；

30分离所述导电性器具和所述线路；

以及将所述多个显示器件分割成单个显示器件。

7.根据权利要求6的制作显示器件的方法，其中，所述导电性器

200310123561.2权利要求书第2/2页

3

具借助和在所述基板边缘的线路发生接触，使所述显示器件的信号输入终端之间发生短路。

8.根据权利要求6的制作显示器件的方法，其中，所述显示器件包括多个TFT。

200310123561.2说明书第1/8页

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显示器件的制作方法

技术领域

5本发明涉及使用薄膜晶体管(TFT)