CN1936631A 单模多模或多模单模光波导模式转换器及制作方法 (清华大学).docxVIP

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CN1936631A 单模多模或多模单模光波导模式转换器及制作方法 (清华大学).docx

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200610113701.1

[51]Int.Cl.

G02B6/122(2006.01)

G02B6/13(2006.01)

[43]公开日2007年3月28日[11]公开号CN1936631A

[22]申请日2006.10.13

[21]申请号200610113701.1

[71]申请人清华大学

地址100084北京市100084-82信箱[72]发明人杨昌喜张仲桓

权利要求书1页说明书3页附图1页

[54]发明名称

单模-多模或多模-单模光波导模式转换器及制作方法

[57]摘要

单模-多模或多模-单模光波导模式转换器及制作方法,是利用光敏有机树脂在紫外光曝光条件下自发形成光波导的方法,实现光波导单模到多模或多模到单模之间的模式转换。该制作方法是将单模光波导和多模光波导的光路在自由空间条件下充分耦合;将光敏有机树脂加入耦合端;将紫外光经过单模光波导和多模光波导的传输后对光敏有机树脂进行固化,形成模式转换部分的固态芯区和液态包层结构;将未固化的光敏有机树脂溶解掉,加入另一种光敏有机树脂;使用紫外光在耦合端侧面进行曝光,形成固态包层。可用于单模-多模或多模

-单模之间的模式转换,成本低,器件稳定性高,具有广泛的适用领域,特别是在集成光学、光互连、光网络、光纤到户领域。

200610113701.1权利要求书第1/1页

2

1.一种单模-多模或多模-单模光波导模式转换器,包括单模光波导和多模光波导以及两者之间的模式转换部分,其特征在于:所述的模式转换部分采用光敏有机树脂经紫外光曝光后形成的固态芯区(4)和固态包层(6)结构。

2.按照权利要求1所述的制作方法,其特征在于:所述的多模光波导和单模光波导采用单模光纤、多模光纤、带状波导、硅/绝缘膜结构光波导或纳米线中的一种。

3.一种如权利要求1所述单模-多模或多模-单模光波导模式转换器的制作方法,其特征

在于该方法按如下步骤进行:

1)使用工作光源对单模光波导和多模光波导进行自由空间光路的耦合,使它们在自由空间光互连的条件下充分耦合;

2)在单模光波导和多模光波导的耦合部分加入光敏有机树脂;

3)用紫外光对单模光波导和多模光波导进行曝光,使紫外光通过单模光波导和多模光波导进入到光敏有机树脂中,并在光敏有机树脂中形成固态芯区和液态包层结构;

4)使用有机溶剂将未曝光的液态光敏有机树脂溶解掉,再使用另一种光敏有机树脂加入到两波导的耦合部分,使用紫外光在耦合部分的侧面进行曝光形成固态包层,所述的另一种光敏有机树脂曝光固化后的折射率应比芯区部分所使用的光敏有机树脂小。

200610113701.1说明书第1/3页

3

单模-多模或多模-单模光波导模式转换器及制作方法

技术领域

本发明涉及一种光波导模式转换器及制作方法,特别是涉及一种利用光敏有机树脂在紫外光曝光条件下自发形成光波导的方法,实现光波导单模到多模或多模到单模之间的模式转换。

背景技术

现有光波导之间的模式转换通常可用以下方法实现:

1.使用外置微透镜耦合:在不同模式的光波导之间加入微透镜或微透镜阵列进行耦合实现模式转换(America.20,May,2003.US6567583-B2.Modeconvertersforconvertiblemodes,suchassingle-to-multimodeconverterforopticaldatacommunicationnetwork,hasballlenses

locatedinopticalpathwayandhavingopticallinkgapbetweentheballlenses)。但是微透镜加工精度高,并且其与光波导之间的相对位置也会影响耦合效率,使损耗增大,从而增加了其操作难度;

2.使用透镜光纤(lensedfiber):直接在光纤端面加工成某种类似透镜形状而达到模式转换作用,其制作方式主要为研磨抛光、熔拉和蚀刻(America.20,Mar,2003.US2003053751-A1.Focusinglensedfiberforcouplin

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