CN1949954A 金属导线的制作方法 （中华映管股份有限公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200510106787.0

[51]Int.Cl.

HO5K3/24(2006.01)

GO2F1/1343(2006.01)

GO2F1/1345(2006.01)

HO1L21/3205(2006.01)

[43]公开日2007年4月18日[11]公开号CN1949954A

[22]申请日2005.10.12

[21]申请号200510106787.0

[71]申请人中华映管股份有限公司

地址中国台湾台北市

[72]发明人彭康嘉

[74]专利代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陶凤波侯宇

页附图10页

权利要求书2页说明书4

[54]发明名称

金属导线的制作方法

[57]摘要

一种金属导线的制作方法。首先提供一基板。

接着形成一第一金属层于基板表面。然后形成一图案化掩模层于基板上方并覆盖部分第一金属层，且

图案化掩模层暴露出预备形成有至少一金属导线的32

第一金属层表面。接着利用一电镀工艺形成一第二金属层于第一金属层上方。然后移除图案化掩模层。最后利用第二金属层作掩模进行一蚀刻工艺，以移除部分第一金属层，以形成金属导线。

200510106787.0权利要求书第1/2页

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1.一种金属导线的制作方法，该制作方法包括下列步骤：

提供一基板；

在该基板表面形成一第一金属层；

在该基板表面上方形成一图案化掩模层并覆盖部分该第一金属层，且该图案化掩模层暴露出预备形成有至少一金属导线的该第一金属层表面；

利用一电镀工艺，在暴露的该第一金属层上方形成一第二金属层；

移除该图案化掩模层；以及

利用该第二金属层作掩模进行一蚀刻工艺，用以移除部分该第一金属层，以形成该金属导线。

2.如权利要求1所述的制作方法，其中该基板为薄膜晶体管液晶显示器的TFT阵列基板。

3.如权利要求1所述的制作方法，其中该基板由玻璃、石英等透明或非透明的刚性材料构成。

4.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一金属层利用一溅镀工艺形成于该基板表面。

5.如权利要求1所述的制作方法，其中该第一金属层由一对该基板有较佳附着力的材料构成。

6.如权利要求5所述的制作方法，其中该第一金属层选自镍、钽、钼、铬及铝中的任一种。

7.如权利要求1所述的制作方法，其中该图案化掩模层为一图案化光致抗蚀剂层。

8.如权利要求7所述的制作方法，其中该图案化光致抗蚀剂层以负片方式写真，将欲形成的线路布局图案去除。

9.如权利要求1所述的制作方法，其中该第二金属层由铜构成。

10.如权利要求1所述的制作方法，该制作方法还包括在形成该第二金属层前，在该图案化掩模层所暴露出的该第一金属层表面形成一第三金属层，以防止该第一金属层渗透到该第二金属层。

11.如权利要求10所述的制作方法，其中形成该第三金属层的方法选自一电镀工艺及一无电镀工艺。

200510106787.0权利要求书第2/2页

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12.如权利要求10所述的制作方法，其中该第三金属层由金构成。

13.如权利要求1所述的制作方法，该制作方法还包括一在该第二金属层表面形成一保护膜的步骤，实施于形成该第二金属层之后，以及一移除该保护膜的步骤，实施于该蚀刻工艺之后。

14.如权利要求13所述的制作方法，其中该保护膜由锡构成，且该保护膜利用一喷锡工艺形成于该第二金属层表面，并利用一剥锡工艺移除该保护膜。

200510106787.0说明书第1/4页

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金属导线的制作方法

技术领域

本发明涉及一种金属导线的制作方法，尤其涉及一种可增加电镀均匀度及便于制作独立图案的金属导线的制作方法。

背景技术

随着电子信息产业的蓬勃发展，结构非常轻薄短小，同时又具有耗电量少以及无辐射污染优点的液晶显示器(liquidcrystaldisplay,LCD)的应