CN1988356A 表面波声学纳米流体驱动器及其制作方法 （河北理工大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200610102212.6

[51]Int.Cl.

H02N2/00(2006.01)

F17D1/08(2006.01)

[43]公开日2007年6月27日[11]公开号CN1988356A

[22]申请日2006.12.1

[21]申请号200610102212.6

[71]申请人河北理工大学

地址063000河北省唐山市新华西道46号[72]发明人曾屹阎济泽

[74]专利代理机构唐山永和专利事务所代理人王永红

权利要求书1页说明书4页附图1页

[54]发明名称

表面波声学纳米流体驱动器及其制作方法

[57]摘要

一种表面波声学纳米流体驱动器器件及其制作方法，属于驱动纳米液滴技术的驱动器领域。由五个部分组成，表面波声学驱动器固定在衬底上，纳米流体通道位于表面波声学驱动器表面波发射方向，加热器位于纳米流体通道下部衬底中。制备步骤是：制备SOI衬底，衬底为三层结构，由表层薄膜硅、中间隔离层二氧化硅和底层体硅基底组成，用绑定工艺将三层连接为一体；用微机械体加工技术在衬底上制备表面波声学驱动器的栅状电极；用微机械体加工技术在衬底上制备加热器的加热电阻；在衬底上配备表面波声学驱动器控制电极和加热电极。本器件体积小、能耗低、易于集成、稳定性高、易于产业化的特点，能够精确控制微流体的温度、流速、流量和流动方向。

200610102212.6权利要求书第1/1页

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1、一种表面波声学纳米流体驱动器，它由衬底、表面波声学驱动器、控制电极、纳米流体通道、加热器五个部分组成，其特征在于，由控制电极控制的表面波声学驱动器固定在衬底上，纳米流体通道位于表面波声学驱动器表面波发射方向，垂直于表面波声学驱动器栅装电极，加热器由加热电极和加热电阻构成位于纳米流体通道下部衬底中。

2、一种如权利要求1所述的表面波声学纳米流体驱动器的制备方法，其特征在于，制备步骤是：(1)制备SOI衬底，衬底为三层结构，由表层薄膜硅、中间隔离层二氧化硅和底层体硅基底组成，三层用邦定工艺固接为一体；(2)用微机械体加工技术在衬底制备表面波声学驱动器的栅状电极；(3)用微机械体加工技术在衬底上制备加热器的加热电阻；(4)在衬底上配备表面波声学驱动器控制电极和加热电极；其中表面波声学驱动器是利用深度离子刻蚀的方法在衬底上制作而成，控制电极是利用依靠CMOS工艺在衬底上制作的金属化电极；在SOI衬底上，制作加热电极和加热电阻的方法是，用离子注入技术在衬底的表层硅上掺杂注入杂质三五组离子，使表层硅形成特定形状的加热电阻，加热电极是用CMOS工艺在衬底上制作的金属化电极。

200610102212.6说明书第1/4页

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表面波声学纳米流体驱动器及其制作方法

技术领域

本发明涉及纳米科学中的一种基于表面波声学驱动纳米液滴技术的驱动器器件及其制作方法，特别涉及到一种具有体积小、能耗低、易于集成、稳定性高、成本低、产量大、易于产业化特点的表面波声学纳米流体驱动器及其制作方法。

背景技术

微流体在纳米科学、生命科学、生物制药等领域中起着十分重要的作用。精确控制微流体的温度、流速、流量和流动方向，对于控制制药工程中混合药物比率、液态化学反应时间、模拟细胞内特定条件的生化反应、以及控制微生物生态环境有着重要的作用。当前的微流体控制，一般依靠虹吸现象或微液压驱动技术实现，然而这两种控制方法难于精确控制流体的流量、流速、流动方向和温度、体积大、能耗高、难于集成。而且随着纳米科学技术的发展，微流体的体积需要进一步缩小，流体的表面张力将促使流体凝聚成为纳米液滴，传统的虹吸现象或微液压驱动技术将难于精确控制纳米流体的温度、流速、流量和流动方向。一种表面波声学纳米流体驱动器的发明呼之欲出。

发明内容

本发明的目的就是针对虹吸现象或微液压驱动技术，难于精确控制纳米流体的温度、流量、流速和流动方向、体积大、能耗高、难于集成的缺陷和技术上的不足，一是提供一种具有体积小、能耗低、易于集成、稳定性高、成本低、产量大、易于产业化特点的表面波声学纳米流体驱动器，二是提供一种表面波声学纳米流体驱动器的制作方法。

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