CN100386698C 一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法 （清华大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利说明书专利号ZLX

[51]Int.Cl.

G03H1/04(2006.01)

G02B5/18(2006.01)

G02B5/32(2006.01)

[45]授权公告日2008年5月7日[11]授权公告号CN100386698C

[22]申请日2003.3.28[21]申请X

[73]专利权人清华大学

地址100084北京市北京100084-82信箱

[72]发明人李立峰赵劲松吴振华

[56]参考文献

US56746521997.10.7

WO0203145A12002.1.10

光折变全息干涉计量术及其应用.范云

正.无损检测，第22卷第12期.2000

审查员任荣东

权利要求书1页说明书6页附图4页

[54]发明名称

一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法

[57]摘要

本发明涉及一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法，属于光栅测量技术领域。其特征是它把作用于光栅的光强任意的干涉记录光束同时作为实时潜像自监测用的入射光束，当入射光束的波长与光栅的周期比值λ/d2/3时，光栅存在多个传播衍射级次，对其中传播出系统之外的任意级次的潜像自衍射I?和I的传播方向上的光束经准直和光电倍增后进行实时自监测，或者对其中按原路返回的自准直级次经滤波、准直和光电倍增后进行实时自监测；当2/3≤λ/d≤2时，光栅存在两个传播的衍射级次，对按原路返回的自准直级次按上述方法进行。利用本方法，能获得特征非常明显的实时监测曲线，灵敏和客观地探测出样片之间个性差异导致的最佳曝光量的漂移，并对其进行补偿。X权利要求书第1/1页

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1、一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法，其特征在于：它把作用于全息光栅的光强任意的干涉记录光束同时作为实时潜像自监测用的入射光束，当入射光束的波长与光栅

的周期比值时，光栅存在多个传播衍射级次，对其中从潜像光栅反射且不沿原路返回的任意级次的潜像自衍射1??和1,的传播方向上的光束经准直和光电倍增后进行实时自监测；所述方

法是在全息干涉系统潜像自衍射1,?和I的传播方向上加上一个准直透镜，在准直透镜的焦面上

放置一个光电倍增管对会聚光的能量进行探测，然后将信号传给记录仪即可实现对潜像进行实时自监测。

2、一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法，其特征在于：它把作用于全息光栅的光强任意的干涉记录光束同时作为实时潜像自监测用的入射光束，当入射光束的波长与光栅的周期比值时，光栅存在多个传播衍射级次，对其中按原路返回的自准直级次经滤波、准直和光电倍增后进行实时自监测。

3、按照权利要求2所述的方法，其特征在于：该方法是将左右路记录光束I和I,分别产生的沿两个方向传播并按原路返回到针孔滤波器的位置并重合为一点的四个衍射级次Io,Ii,II

和I经平面反射镜分离出需要探测的任意一个级次，再经准直透镜以及放置在准直透镜焦面上的对会聚光的能量进行探测的光电倍增管，由记录仪接收该光电倍增管输出的被探测的潜像自衍射信号实现对潜像进行实时自监测。

4、一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法，其特征在于：它把作用于全息光栅的光强任意的干涉记录光束同时作为实时潜像自监测用的入射光束，当入射光束的波长与光栅的周期比值,光栅存在两个传播的衍射级次，对按原路返回的自准直级次滤波、准直和光电倍增后进行实时自监测。

5、按照权利要求4所述的方法，其特征在于：该方法是将左右路记录光束I和I,分别产生的沿两个方向传播并按原路返回到针孔滤波器的位置并重合为一点的四个衍射级次Ino,I?,I?

和Io经平面反射镜分离出需要探测的任意一个级次，再经准直透镜以及放置在准直透镜焦面上的对会聚光的能量进行探测的光电倍增管，由记录仪接收该光电倍增管输出的被探测的潜像自衍射信号实现对潜像进行实时自监测。X说明书第1/6页

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一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法

技术领域

本发明涉及一种全