CN101003914A 一种坩埚保温套及其制作方法 （深圳大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200610005687.3

[51]Int.Cl.

C30B35/00(2006.01)

C30B23/00(2006.01)F27B14/10(2006.01)

[43]公开日2007年7月25日[11]公开号CN101003914A

[22]申请日2006.1.18

[21]申请号200610005687.3

[71]申请人深圳大学

地址518060广东省深圳市南山区南海大道2336号

[72]发明人敬守勇郑瑞生刘文

权利要求书1页说明书4页附图2页

[54]发明名称

一种坩埚保温套及其制作方法

[57]摘要

选择纤维排列具有集中取向的长纤维石墨保温毡制作保温性能优良的坩埚保温套。在制作保温套时，使保温毡内纤维的主要排列方向平行于坩埚轴向。这种材料和结构的坩埚保温套不仅具有优良的保温性能，同时在感应加热坩埚的过程中比传统保温套还能更好地抑制保温套内感应涡流的产生。

200610005687.3权利要求书第1/1页

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1、一种用感应加热法加热坩埚的保温套。保温套材料选择纤维排列有集中取向的长纤维石墨保温毡，其特征在于这种保温毡的热学性质和电学性质具有高度各向异性。

2、一种用感应加热法加热坩埚的保温套制作方法。其特征在于在制作坩埚保温套时，要求保温毡内纤维的主要排列方向平行于坩埚轴向。

3、根据权利要求1所述的坩埚保温套，可以用其他热学和电学性质具有高各向异性的材料制作。

200610005687.3说明书第1/4页

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一种坩埚保温套及其制作方法

技术领域

本发明涉及高温半导体材料生长设备中的一种坩埚保温套材料的选用及坩埚套的制作方法。

背景技术

Ⅲ族氮化物半导体材料和器件在光电子技术领域有很多用途，特别是用氮化铝以及含高浓度铝的氮化铝与氮化镓或氮化铟的化合物材料制作出的深紫外发光二极管具有广泛的应用前景。这些应用领域包括全固态白光照明、杀菌和消毒器件、生物工艺学和制药学使用的紧凑分析设备、生物制剂探测系统、隐蔽通讯中的紧凑紫外光源以及高密度数据存储使用的短波长激光器等很多方面。另外，氮化铝单晶还是制作Ⅲ族氮化物半导体器件、高功率射频器件、毫米波器件以及微波器件的优秀衬底材料。

从目前已有的研究成果看，最有可能制备出高质量、大尺寸氮化铝晶体的方法应该是高温气相法，即高温升华-再结晶技术。该技术最早由SlackandMcNelly用来生长氮化铝晶体(“GrowthofHighPurityAlNCrystals”,J.Cryst.Growth34,263(1976)和“A1NSingleCrystals”,J.Cryst.Growth42,560(1977))。

之后也有很多研究组从事氮化铝晶体生长技术的研究。尽管经过三十多年的不断探索，但是到目前为止，仍然还没有高质量、大尺寸商用的氮化铝晶体产品问世，晶体生长中的诸多技术难题也还没得到完全解决。

晶体生长区域建立适合的温度场是生长大尺寸优良晶体所需的重要条件之一。而选用适合的保温套对建立良好的温度场尤其重要，其中涉及保温材料的选择、保温套的加工制作技术以及使用方法等问题。

传统的坩埚保温套采用刚玉砂、锆砂或石墨粉等各向同性保温材料制作。通常情况下，这类保温套具有较好的保温效果。但对于生长氮化铝晶体的情况，使用刚玉粉或锆砂等氧化物作为保温材料将会在生长气氛中引入大量氧杂质，而使用石墨粉作为保温套制作材料虽然不会引入氧杂质，但微粉材料保温套的制作和使用容易产生大量粉尘。基于以上考虑，在制作生长氮化铝晶体生长室的坩埚保温套时有人选择石墨纤维保温毡作为保温材料。这是一个很好的选择，因为不仅能满足化学兼容性有关要求，

200610005687.3说明书第2/4页

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还可以获得较好保温效果。一般情况，纤维保温毡由于其几何形状及材料本身的性