CN101344726B 制作周期性图案的步进排列式干涉微影方法及其装置 （财团法人工业技术研究院）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101344726B

(45)授权公告日2011.08.03

(21)申请号200710122780.7

(22)申请日2007.07.09

(73)专利权人财团法人工业技术研究院地址中国台湾新竹县

(72)发明人王伦陈永彬饶智升张所鉱张哲豪

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021

代理人周国城

(51)Int.CI.

GO3F7/20(2006.01)

(56)对比文件

US2005/0064297A1,2005.03.24,全文.US5415835A,1995.05.16,全文.

US6882477B1,2005.04.19,全文.

CN2449258Y,2001.09.19,全文.

CN2432001Y,2001.05.30,说明书第1-4页、附图1.

US5955221A,1999.09.21,全文.

Carl0.Bozleretal.Arraysofgratedfield-emitterconeshaving0.32um