CN101386985A 在透明电极上制作aao模板的方法及相应器件 （北京大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200810224414.7

[51]Int.Cl.

C23C28/00(2006.01)C25D11/04(2006.01)B82B3/00(2006.01)

[43]公开日2009年3月18日[11]公开号CN101386985A

[22]申请日2008.10.14

[21]申请号200810224414.7

[71]申请人北京大学

地址100871北京市海淀区颐和园路5号北京大学

[72]发明人肖立新段来强罗方闻陈志坚龚旗煌

[74]专利代理机构北京君尚知识产权代理事务所代理人李稚婷

权利要求书1页说明书6页附图1页

[54]发明名称

在透明电极上制作AAO模板的方法及相应器件

[57]摘要

本发明公开了一种在透明电极上制作AAO模板的方法及相应的器件。先在透明电极上镀一层适当厚度的金属钛作为缓冲层，再在其上镀金属铝层，然后以酸性溶液为电解液进行阳极氧化电解，从而在透明电极上制作出AAO纳米多孔阵列结构模板，相应地得到一种透明电极和AAO模板复合器件。本发明中的钛缓冲层起到了很好的粘附和保护作用，在保证铝层不脱落且完全电