CN101900607B 一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101900607B

(45)授权公告日2012.07.25

(21)申请号201010208486.X

(22)申请日2010.06.24

(73)专利权人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人许向东杨书兵蒋亚东周东杨洋但文超

(51)Int.CI.

G01J5/20(2006.01)

(56)对比文件

CN101586985A,2009.11.25,全文.

CN1822415A,2006.08.23,全文.

WO2010019648A2,2010.02.18,全文.

魏雄邦.氧化钒薄膜的厚度对薄膜电学特性的影响.《材料导报》.2008,第22卷(第3期),

第122-124页.

审查员瓮龙明

权利要求书2页说明书8页附图5页

(54)发明名称

一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法

(57)摘要

CN101900607B本发明公开了一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法，该薄膜为氧化钒-碳纳米管复合膜，即由一维碳纳米管与两维氧化钒膜复合而成，构成红外探测器的热敏电阻材料及红外吸收材料。采用这种氧化钒-碳纳米管复合膜用于红外探测器的制作，克服了现有制造技术对敏感薄膜化学结构造成的负面影响，同时，还能够克服单纯的碳纳米管、或单纯的氧化钒材料在电学和光学等性能的不足，提高器件的综合性能。本发明公开的氧化钒-碳纳米管复合膜的制备方法简单，无需复杂、昂贵的成膜设备，降低了制造成本，提高了红外探测器的工作性能，适宜大规模产业化生产。

CN101900607B

CN101900607B权利要求书1/2页

2

1.一种用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

①清洗衬底，吹干后备用；

②碳纳米管功能化处理：把事先备好的碳纳米管放在烧杯中，采用化学处理的方式，在碳纳米管的表面引入官能团，然后，经过过滤、洗涤和干燥步骤，获得功能化的碳纳米管，备用；

③氧化钒溶胶制备：将氧化钒粉末与有机溶剂相混合，加热反应，然后，通过离心分离，去除不溶物，将提取的上清液静置，再进行二次离心分离，如此反复，直至完全去除不溶物，获得没有沉淀的氧化钒有机溶胶，备用；

④氧化钒与碳纳米管的反应：把经过步骤②功能化处理的碳纳米管与有机溶剂相混合，超声分散碳纳米管，形成碳纳米管的悬浮液，然后，把该碳纳米管悬浮液与步骤③制备的氧化钒溶胶相混合，搅拌分散，形成氧化钒与碳纳米管相混合的新溶胶；

⑤复合膜制备：把步骤④制备的氧化钒与碳纳米管相混合的新溶胶旋涂在清洁的衬底表面，然后，经退火处理，蒸发掉有机溶剂，形成氧化钒一碳纳米管复合膜。

2.根据权利要求1所述用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，依次重复氧化钒与碳纳米管的混合反应、溶胶旋涂、及退火步骤，形成氧化钒-碳纳米管多层复合膜结构。

3.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，氧化钒的分子式表示为VO,其中，x满足1.0≤x≤2.5。

4.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤②中，采用化学处理的方式为：采用浓H?SO?与浓HNO?的混合液、浓硝酸、高锰酸钾、Fenton法处理方式中的一种，在室温、加热、或超声的条件下，对碳纳米管进行处理。

5.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤③中，采用的制备氧化钒溶胶的溶剂为有机溶剂A与有机溶剂B两种试剂的混合液，其中，有机溶剂A为苯甲醇，有机溶剂B为异丁醇、或异戊醇、异己醇当中的一种。

6.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤③中，制备氧化钒溶胶采用的五氧化二钒、与有机溶剂A、及有机溶剂B三种试剂的摩尔比为五氧化二钒：有机溶剂A:有机溶剂B=1:4:10～1:4:100,其中，有机溶剂A为苯甲醇，有机溶剂B为异丁醇、或异戊醇、异己醇当中的一种。

7.根据权利要求6所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤④中，制备碳纳米管悬浮液所用的有机溶剂为异丁醇、异戊醇、异己醇当中的一种，制备碳纳米管悬浮液