CN101900607A 一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101900607A

(43)申请公布日2010.12.01

(21)申请号201010208486.X

(22)申请日2010.06.24

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人许向东杨书兵蒋亚东周东杨洋但文超

(51)Int.CI.

G01J5/20(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图5页

(54)发明名称

一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法

(57)摘要

CN101900607A本发明公开了一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法，该薄膜为氧化钒-碳纳米管复合膜，即由一维碳纳米管与两维氧化钒膜复合而成，构成红外探测器的热敏电阻材料及红外吸收材料。采用这种氧化钒-碳纳米管复合膜用于红外探测器的制作，克服了现有制造技术对敏感薄膜化学结构造成的负面影响，同时，还能够克服单纯的碳纳米管、或单纯的氧化钒材料在电学和光学等性能的不足，提高器件的综合性能。本发明公开的氧化钒-碳纳米管复合膜的制备方法简单，无需复杂、昂贵的成膜设备，降低了制造成本，

CN101900607A

CN101900607A权利要求书1/2页

2

1.一种用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

①清洗衬底，吹干后备用；

②碳纳米管功能化处理：把事先备好的碳纳米管放在烧杯中，采用化学处理的方式，在碳纳米管的表面引入官能团，然后，经过过滤、洗涤和干燥步骤，获得功能化的碳纳米管，备用；

③氧化钒溶胶制备：将氧化钒粉末与有机溶剂相混合，加热反应，然后，通过离心分离，去除不溶物，将提取的上清液静置，再进行二次离心分离，如此反复，直至完全去除不溶物，获得没有沉淀的氧化钒有机溶胶，备用；

④氧化钒与碳纳米管的反应：把经过步骤②功能化处理的碳纳米管与有机溶剂相混合，超声分散碳纳米管，形成碳纳米管的悬浮液，然后，把该碳纳米管悬浮液与步骤③制备的氧化钒溶胶相混合，搅拌分散，形成氧化钒与碳纳米管相混合的新溶胶；

⑤复合膜制备：把步骤④制备的氧化钒与碳纳米管相混合的新溶胶旋涂在清洁的衬底表面，然后，经退火处理，蒸发掉有机溶剂，形成氧化钒一碳纳米管复合膜。

2.根据权利要求1所述用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，依次重复氧化钒与碳纳米管的混合反应、溶胶旋涂、及退火步骤，形成氧化钒-碳纳米管多层复合膜结构。

3.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，氧化钒的分子式表示为VO,其中，x满足1.0≤x≤2.5。

4.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤②中，采用化学处理的方式为：采用浓H?SO?与浓HNO?的混合液、浓硝酸、高锰酸钾、Fenton法处理方式中的一种，在室温、加热、或超声的条件下，对碳纳米管进行处理。

5.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤③中，采用的制备氧化钒溶胶的溶剂为有机溶剂A与有机溶剂B两种试剂的混合液，其中，有机溶剂A为苯甲醇，有机溶剂B为异丁醇、或异戊醇、异己醇当中的一种。

6.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤③中，制备氧化钒溶胶采用的五氧化二钒与苯甲醇、与有机溶剂A、及有机溶剂B三种试剂的摩尔比为五氧化二钒：苯有机溶剂A:有机溶剂B=1:4:10～1:4:100,其中，有机溶剂A为苯甲醇，有机溶剂B为异丁醇、或异戊醇、异己醇当中的一种。

7.根据权利要求1或6所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤④中，制备碳纳米管悬浮液所用的有机溶剂为异丁醇、异戊醇、异己醇当中的一种，制备碳纳米管悬浮液所用的有机溶剂与制备氧化钒溶胶所用的有机溶剂B相一致。

8.根据权利要求1所述的用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤⑤中，所述的氧化钒-碳纳米管溶胶的退火温度为200～600℃;退火气氛为空气、真空、Ar加还原性气体其中的一种；退火时间为0.5～24小时。

9.一种用于红外探测器的氧化钒薄膜，其特征在于，该薄膜是由一维碳纳米管和两维氧化钒薄膜复合而成的氧化钒-碳纳米