CN101886261B 一种用于微测辐射热计的氧化钒薄膜及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101886261B

(45)授权公告日2013.04.24

(21)申请号201010222514.3

(22)申请日2010.07.09

(73)专利权人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人许向东蒋亚东周东王志杨书兵吴志明何少伟

(51)Int.CI.

C23C26/00(2006.01)

G01J5/20(2006.01)

HO1C7/00(2006.01)

审查员赵亚斌

权利要求书1页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种用于微测辐射热计的氧化钒薄膜及其制作方法

(57)摘要

CN101886261B本发明公开了一种用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：①清洗衬底，吹干后备用；②把事先制备好的原始、或已经功能化处理的碳纳米管放在烧杯当中，与有机溶剂混合，超声分散，然后，把分散液转移到经清洁处理的衬底的表面，使溶剂挥发，形成交错、互联的碳纳米管膜；③把步骤②得到的分散有碳纳米管膜的衬底放入抽为真空的反应器中，利用反应器生长一层氧化钒膜，所生长的氧化钒膜分散在碳纳米管的表面、以及管与管的间隙当中，退火，形成氧化钒-碳纳米管复合膜结构；④冷却至室温后，从反应器中取出；⑤根据需要

CN101886261B

CN101886261B权利要求书1/1页

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1.一种用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

①清洗衬底，吹干后备用；

②把事先制备好的碳纳米管放在烧杯中，先采用化学处理的方式，在碳纳米管的表面引入官能团，经过过滤、洗涤和干燥步骤，获得功能化的碳纳米管，然后，把该功能化的碳纳米管放在烧杯当中，与有机溶剂相混合，超声分散，再把分散液转移到经清洁处理的衬底的表面，使溶剂挥发，形成交错、互联的碳纳米管膜；

③把步骤②得到的分散有经功能化处理的碳纳米管的衬底放入抽为真空的反应器中，利用反应器生长一层氧化钒膜，所生长的氧化钒膜分散在碳纳米管的表面、以及管与管的间隙当中，退火，形成氧化钒-碳纳米管复合膜结构；

④冷却至室温后，从反应器中取出；

⑤根据需要，依次重复碳纳米管分散、氧化钒沉积和退火步骤，形成氧化钒-碳纳米管多层复合膜结构。

2.根据权利要求1所述的用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在其步骤②中，把碳纳米管分散到衬底表面的方法为旋涂、或者是浸渍提拉法、喷涂法、刷涂法、电沉积法、电泳、印刷移植当中的一种，当采用旋涂方法时，所用的分散液为乙醇、或者是异丙醇、异丁醇、异戊醇、异己醇当中的一种。

3.根据权利要求1所述的用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤②中所获得的碳纳米管横卧在衬底的表面、呈交错互联结构，碳纳米管为单壁或多壁碳纳米管，碳纳米管的直径为1～50nm,碳纳米管的长度为50～30000nm。

4.根据权利要求1所述的用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在步骤②中，对碳纳米管进行功能化处理的方法为：采用浓H?SO?与浓HNO?混合液、浓硝酸、高锰酸钾、Fenton法处理当中的一种，在碳纳米管中引入-COOH或-COH官能团。

5.根据权利要求1所述的用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，在其步骤③中，氧化钒膜的制备方法为磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发、金属有机化合物化学气相沉积、激光烧蚀沉积、原子层沉积当中的一种；当采用磁控溅射方法时，所用的靶材为金属钒或钒的氧化物VO,x满足1.0≤x≤2.5,所用的反应气体为氩气与氧气的混合气、且氧气在混合气中的百分比为0.2～20%,沉积温度为25～500℃。

CN101886261B说明书1/6页

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一种用于微测辐射热计的氧化钒薄膜及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及非制冷红外探测、及非制冷太赫兹探测技术领域，具体涉及一种微测辐射热计的热敏电阻材料及光吸收材料、以及其制备方法。

背景技术

[0002]红外探测器把不可见的