CN106887454B GaN基鳍栅增强型器件及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN106887454B公告日2019.10.11

(21)申请号201710149248.8

(22)申请日2017.03.14

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN106887454A

(43)申请公布日2017.06.23

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人李培咸翟少鹏霍荡荡张濛马晓华郝跃

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华朱红星

(51)Int.CI.

HO1L29/66(2006.01)

HO1L29/778(2006.01)

(56)对比文件

CN104094408A,2014.10.08,

CN106229345A,2016.12.14,

US2015194514A1,2015.07.09,

ShenghouLiu等.“Enhancement-Mode

OperationofNanochannelArray(NCA)AlGaN/GaNHEMTs”.