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CN113050373B 有机膜形成材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及化合物 （信越化学工业株式会社）.docxVIP

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  • 2026-03-08 发布于山西
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CN113050373B 有机膜形成材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及化合物 （信越化学工业株式会社）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN113050373B

    (45)授权公告日2025.05.16

    (21)申请号202011564357.4

    (22)申请日2020.12.25

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113050373A

    (43)申请公布日2021.06.29

    (30)优先权数据

    2019-2363352019.12.26JP

    (73)专利权人信越化学工业株式会社地址日本东京都

    (72)发明人郡大佑中原贵佳美谷岛祐介野田和美

    (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

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