光栅位移传感器
;光栅式位移传感器是一种数字式传感器,它直接把非电量转换成数字量输出。它具有检测精度和分辨率高、抗干扰能力强、稳定性好、易与微机接口,便于信号处理和实现自动化测量等特点,所以广泛应用于数控机床等闭环系统的线位移和角位移的自动检测以及精密测量等方面,测量精度可以达到几微米。还可以检测能够转换为长度的速度、加速度、位移等其他物理量。
;由大量等宽、等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅。
;平行等距的刻线称为栅线,栅线密度一般为每厘米10、25、50、100、250线。
刻痕之间的距离称为栅距W(也称
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