CN102937651A 血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法 （上海交通大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102937651A

(43)申请公布日2013.02.20

(21)申请号201210399158.1

(22)申请日2012.10.18

(71)申请人上海交通大学

地址200240上海市闵行区东川路800号

(72)发明人周勇王韬陈翔雷冲

(74)专利代理机构上海汉声知识产权代理有限公司31236

代理人郭国中

(51)Int.CI.

GO1N33/577(2006.01)

GO1N33/531(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书2页说明书7页

(54)发明名称

血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法

(57)摘要

本发明提供一种血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，步骤为：(1)采用MEMS工艺制作巨磁阻抗效应传感器；(2)在巨磁阻抗效应传感器上面制作绝缘层三氧化二铝，然后甩光刻胶、曝光、显影、刻蚀三氧化二铝、去胶，使传感器引脚暴露在外面；(3)溅射Cr/Au薄膜，然后甩光刻胶、曝光、显影、刻蚀Cr/Au膜、去胶，使传感器引脚和传感器敏感部分的Au膜暴露在外面；(4)Au膜上生物敏感膜的制备；(5)肿瘤标志物单克隆抗体的固定；(6)抗原点样；(7)生物素化抗体固定；(8)磁性标签固定。本发明将GMI效应传感器用于血清肿瘤标志物检测，检测速度快，易于批量生产，可以满足现有临床应用的需

CN

CN10

CN102937651A权利要求书1/2页

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1.一种血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)采用MEMS工艺制作巨磁阻抗效应传感器，该巨磁阻抗效应传感器由位于玻璃基片上的NiFe/Cu/NiFe多层膜构成；

(2)在巨磁阻抗效应传感器上面制作绝缘层三氧化二铝，然后甩光刻胶、曝光、显影、刻蚀三氧化二铝、去胶，使传感器引脚暴露在外面；

(3)溅射Cr/Au薄膜，然后甩光刻胶、曝光、显影、刻蚀Cr/Au膜、去胶，使传感器引脚和传感器敏感部分的Au膜暴露在外面；

(4)Au膜上生物敏感膜的制备：生物敏感膜为一层纳米级厚度的自组装膜，自组装膜为11-巯基十一烷酸，然后经EDC+NHS活化形成的；

(5)肿瘤标志物单克隆抗体的固定：将肿瘤标志物单克隆抗体溶液滴入传感器Au膜上面，放入冰箱过夜；然后用PBS溶液清洗、BSA溶液封闭，最后用PBS溶液清洗、室温干燥；

(6)抗原点样：将抗原溶液滴入传感器表面，培育，然后用PBS溶液清洗，室温下干燥；

(7)生物素化抗体固定：将生物素化抗体溶液滴入传感器表面，室温培育，然后用PBS溶液清洗，室温下干燥；

(8)磁性标签固定：将磁性标签滴入传感器表面，室温下培育，然后用PBS溶液清洗，室温干燥。

2.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤(1)中，所述巨磁阻抗效应传感器外形呈曲折形结构，匝数为3-10匝，匝间距离为60um。

3.根据权利要求1或2所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤(1)中，所述NiFe/Cu/NiFe多层膜，其中Cu膜的宽度小于NiFe薄膜的宽度，NiFe薄膜的宽度为120-160um、厚度为2-6um,Cu膜宽度为100-140um、厚度为2-6um。

4.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤(2)中，所述绝缘层三氧化二铝，其厚度为小于lum。

5.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤(3)中，所述Cr/Au薄膜，其厚度为100-500nm。

6.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤(4)中，所述Au膜上生物敏感膜的制备，具体如下：

●Au清洗，用1M/LNaOH水溶液清洗10分钟，1M/LHCI水溶液清洗10分钟，水、无水乙醇清洗2次，干燥，臭氧紫外杀菌；

●用10-30mM11-巯基十一烷酸无水乙醇溶液浸泡，室温3小时，无水乙醇清洗2次，N2气干燥；

●EDC+NHS活化，用PH=7.4的PBS溶液溶解EDC和