【财通-2026研报】光刻胶加速突围，高端国产化迎关键窗口.pdfVIP

光刻胶加速突围，高端国产化迎关键窗口

电子

证券研究报告行业专题报告/2026.03.12

投资评级:看好(维持)

最近12月市场表现核心观点

电子沪深300

52%❖光刻胶系半导体材料“皇冠上的明珠”，高端市场日美长期垄断。光刻胶是将

38%掩膜版图形通过曝光、显影等工艺精准转移到晶圆表面的核心半导体材料，

23%直接影响线宽控制、图形精度、缺陷密度和最终良率，因此是先进制造工艺中

不可替代的基础材料。在先进制程中，光刻工艺的成本可占整个芯片制造成

9%

本的30%-40%，而在晶圆制造材料成本中，光刻胶及其配套试剂占比12%-

-6%

15%，是最重要的集成电路材料之一。目前，集成电路领域用光刻胶主要被

-20%

日本和美国企业所垄断，主要企业包括日本JSR、信越化学、TOK、住友化

学、DuPont、韩国东进世美肯、日本富士胶片等，合计市场占有率达到95%。

其中JSR、TOK在高端EUV光刻胶领域居市场垄断地位。其中，高端光刻

分析师唐佳

SAC证书编号：S0160525110002胶ArF和KrF是芯片制造的“卡脖子”环节，国产化率极低，根据中国电子

tangjia@材料行业协会的数据，当前我国g/i线光刻胶的国产化率20%-25%，仍处

于较低水平，KrF光刻胶整体国产化率约3%，ArF光刻胶整体国产化率不足

分析师詹小瑁

SAC证书编号：S01605251200081%。在此背景下，因目前光刻胶仍高度依赖日本，考虑到后续我国在核心半

zhanxm@导体材料“卡脖子”环节光刻胶的强烈自主可控诉求，我们认为国内光刻胶产

业链将迎来重要成长机遇。

相关报告❖当前，国产高端光刻胶的国产化落地正进迎关键窗口期，建议重视国产光刻

1.《国产模型调用量激增，昇腾适配部署加

胶板块机遇。近年来，我国在政策端持续发力，推动光刻胶国产化进程。据览

速》2026-03-04

富财经网，国家集成电路产业投资基金三期规模达到1600亿元，其中约18%

2.《看好2026年AI产业端云并进大趋势》

2026-02-25的资金投向光刻胶等半导体材料领域。其中，KrF光刻胶已有部分成熟产品

3.《CPU专题报告三：CPU逐步向新PCIe实现国产化替代，尤其在逻辑芯片、功率器件及CIS图像传感器等成熟制程

版本更多通道数适配，看好PCIe供应链应用中取得实质性突破。ArF/ArFi光刻胶国内多家公司正处于开发和验证阶

环节》2026-02-18段。例如，鼎龙股份潜江二期年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶量产线，

已按计划即将进入试运行阶段，当前整体节奏良好，其潜江一期30吨