CN104380206B 滚筒模具的制作装置及制作方法 （旭化成株式会社）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104380206B公告日2017.03.08

(21)申请号201380025153.5

(22)申请日2013.05.10

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104380206A

(43)申请公布日2015.02.25

(30)优先权数据

2012-1108772012.05.14JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.11.13

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2013/0631772013.05.10

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2013/172267JA2013.11.21

(73)专利权人旭化成株式会社

地址日本国东京都千代田区神田神保町一丁目105番地

(72)发明人伊藤直人北田敏夫

(74)专利代理机构上海市华诚律师事务所

31210

代理人肖华

(51)Int.CI.

GO3F7/24(2006.01)

B29C33/38(2006.01)

B29C59/04(2006.01)

HO1L21/027(2006.01)

审查员赵子甲

权利要求书1页说明书8页附图16页

(54)发明名称

滚筒模具的制作装置及制作方法

(57)摘要

CN104380206B在滚筒模具的表面上针对每一规定区域向圆周方向曝光掩模图案的所谓的步进与重复方法中，可提高掩模图案间的间隔精度，从而可抑制在掩模图案旋转一周时接缝偏移。为实现该目的，本发明所涉及的滚筒模具制作装置包括：掩模(3),其具有使被照射物的一部分透过的功能；旋转驱动装置，其使滚筒模具(100)绕旋转轴旋转；旋转量检测传感器，其检测旋转量；控制装置，其发送用于调整被照射物在滚筒模具(100)的抗蚀剂上的圆周方向描画位置的控制信号；以及致动器(7),其使掩模(3)直线状移动，在使滚筒模具(100)停止旋转的状态下将被照射物照射至规定范围，使该滚筒模具(100)旋转规定量并停止，并调整将被照射物照射至另一规定范围时的圆周方向描画位

CN104380206B

修正量

修正量x/

偏差角渡θ

塾准题离H1

圆的切线

100

修正后距离H2

CN104380206B权利要求书1/1页

2

1.一种滚筒模具的制作装置，其是制作用于转印图案的滚筒状的压模即滚筒模具的装置，所述滚筒模具的制作装置的特征在于，包括：

照射装置，对于涂布有抗蚀剂的所述滚筒模具，所述照射装置在使该滚筒模具停止旋转的状态下将被照射物照射至规定范围；

掩模，其具有使自该照射装置照射的被照射物的一部分透过的功能；

旋转驱动装置，其使所述滚筒模具绕旋转轴旋转；

旋转量检测传感器，其在利用该旋转驱动装置使所述滚筒模具旋转时，检测所述滚筒模具的旋转量，并测定所述旋转驱动装置的角度进给量的误差作为检测信号；

控制装置，其接收该旋转量检测传感器的检测信号，且发送用于调整所述被照射物被照射至所述滚筒模具的所述抗蚀剂上时的圆周方向照射位置的控制信号；以及

致动器，其基于来自该控制装置的控制信号而使所述掩模直线状移动，

在使所述滚筒模具停止旋转的状态下将所述被照射物照射至规定范围，使该滚筒模具旋转规定量并停止，并调整将所述被照射物照射至另一规定范围时的圆周方向照射位置。

2.如权利要求1所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，所述掩模使透过后的所述被照射物形成为多束平行光。

3.如权利要求1或2所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，

所述致动器使所述掩模在与所述被照射物的照射方向垂直的方向上移动。

4.如权利要求3所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，所述致动器为压电致动器。

5.如权利要求1所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，所述被照射物为电子束。

6.如权利要求1所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，所述被照射物为光。

7.一种滚筒模具的制作方法，其是制作用于转印图案的滚筒状的压模即滚筒模具的方法，所述滚筒模具的制作方法的特征在于，

使自曝光装置照射的被照射物透过掩模而形成为多束被照射物；

使涂布有抗蚀剂的所述滚筒模具绕旋转轴旋转并成为停止在规定位置的状态；

检测所述滚筒模具的旋转量，并测定使所述滚筒模具旋转的旋转驱动装置的角度进给量的