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- 2026-04-14 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119753601A
(43)申请公布日2025.04.04
(21)申请号202510171194.XH01J37/32(2006.01)
(22)申请日2025.02.17
(71)申请人无锡尚积半导体科技股份有限公司
地址214000江苏省无锡市新吴区长江南
路35-312号厂房
(72)发明人张超张陈斌丁聪葛青涛
王世宽宋永辉
(74)专利代理机构无锡市兴为专利代理事务所
(特殊普通合伙)32517
专利代理师高敏屠志力
(51)Int.Cl.
C23C14/34(2006.01)
C23C14
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