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CMOS集成电路制造工艺的创新与优化

目录

文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3主要研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

CMOS集成电路制造基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.1CMOS器件基本结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.2经典制造流程概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.3关键材料与设备分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

制造工艺创新技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

3.1晶圆前道工程突破．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

3.1.1先进光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．