摘要
在现代工业中,直线传动机构常采用旋转电机和滚珠丝杠实现直线运动控
制,利用滚珠丝杠作为传动装置存在精度差、响应慢等问题。相比之下,永磁
同步直线电机(PermanentMagnetSynchronousLinearMotors,PMSLM)通过
行波磁场实现直驱式直线运动控制,具备高精度、响应快等优点,在高档数控
机床、轨道运输、光刻机等领域得到了广泛应用。但是PMSLM存在端部效
应、齿槽效应等问题,在运行过程中,易受到由端部效应和齿槽效应引起的定
位力、
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