低维沟道材料的界面缺陷钝化与亚5nm节点器件性能提升.docxVIP

低维沟道材料的界面缺陷钝化与亚5nm节点器件性能提升

目录

内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

低维沟道材料概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.1低维沟道材料的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.2低维沟道材料的物理特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.3低维沟道材料在电子器件中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

界面缺陷对器件性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.1界面缺陷的类型与特征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.2界面缺陷对器件性能的负面影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.3界面缺陷钝化的理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

亚5nm节点器件的挑战与机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.1亚5nm节点技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.2亚5nm节点器件面临的主要挑战．．．．．．．