CN119987119A 亚分辨率辅助图形及其形成方法 （重庆芯联微电子有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119987119A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202510249622.6

(22)申请日2025.03.04

(71)申请人重庆芯联微电子有限公司

地址401332重庆市沙坪坝区高新区西永

街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153

(72)发明人黄冠宏陈咏翔曾鼎程范富杰

胡展源

(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

公司31295

专利代理师王思琦

(51)Int.Cl.

G03F1/36(2012.01)

G03F1/38(2012.01)

G03F1/44(2012.01)