CN119554976A 基于表面等离子体共振全息显微术的金层厚度测量方法 （西北工业大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119554976A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202510125824.X

(22)申请日2025.01.27

(71)申请人西北工业大学

地址710072陕西省西安市碑林区友谊西

路127号

(72)发明人戴思清徐浩宇王竹青赵建林

(74)专利代理机构西安科意达知识产权代理事务所(普通合伙)61340

专利代理师周丽琪

(51)Int.Cl.

G01B11/06(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图5页

(54)发明名称

基于表面等离子体共振全息显微术的金层

厚度测量方法

(57)摘要

CN119554976A本发明属于光学测量技术领域，具体涉及一种基于表面等离子体共振全息显微术的金层厚度测量方法，该方法基于发生表面等离子共振时反射光波的相位信息对金层厚度的微小变化具有超高响应灵敏度的特点，利用表面等离子体共振全息显微系统测量电介质液滴挥发过程中反射光波的相位变化曲线并结合理论模型，实现对金层厚度的定量表征。该方法可为金层厚度测量提供一种高精度、无损、快速及低成本的测量手段和技术，最终实现金层厚度的无损、快速、高精

CN119554976A

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