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2025年洁净度测试题及答案

一、单项选择题（每题2分，共20分）

1.依据2024年修订的《洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度分级》（ISO14644-1:2024），ISO5级洁净室对≥0.5μm粒子的最大允许浓度（粒/m3）为？

A.3520

B.35200

C.352000

D.3520000

2.医药工业洁净室（区）浮游菌检测时，使用撞击式采样器采样时，采样流量应至少为？

A.20L/min

B.50L/min

C.100L/min

D.200L/min

3.半导体晶圆制造车间ISO3级洁净室中，静态检测时，单点采样时间应不小于？

A.1分钟

B.3分钟

C.5分钟

D.10分钟

4.洁净室压差测试时，相邻不同级别洁净室的压差应至少为？

A.5Pa

B.10Pa

C.15Pa

D.20Pa

5.用于洁净室表面微生物检测的接触碟（RODAC平板），其有效接触面积为？

A.25cm2

B.50cm2

C.75cm2

D.100cm2

6.以下哪种粒子计数器校准方法不属于国际通用的标准方法？

A.激光衍射法

B.单分散聚苯乙烯微球法（PSL）

C.凝聚核计数法（CNC）

D.显微镜计数法

7.洁