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金属氧化物半导体Janus异质结的构筑及其气敏特性的研究.pdf

金属氧化物半导体Janus异质结的构筑及其气敏特性的研究.pdf

    摘要

    大气污染物对于生态系统和人类健康安全都会产生巨大的负面影响，检测污染物

    气体，并监测其浓度变化至关重要。因此，开发具有高灵敏度和低检测限的气体传感

    器具有非常深远的社会价值和意义。金属氧化物半导体气体传感器因材料成本低、制

    作简单、轻便易携带而成为了气体传感器领域研究的热点。本文以金属氧化物为研究

    主体，在调控微观结构的基础上，针对传感性能的不同需求，选用不同特性的金属氧

    化物与之构筑异质结，实现了对目标气体的高灵敏度、快速响应/恢复和低检测下限。

    本文主要研究内容如下：

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