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YST 1864-2026 流化床法颗粒硅表面金属含量的测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法.pdf

YST 1864-2026 流化床法颗粒硅表面金属含量的测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法.pdf

    YS/TXXX—XXXX

    流化床法颗粒硅表面金属含量的测定

    酸浸取-电感耦合等离子体质谱法

    1范围

    本文件描述了电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定流化床法颗粒硅表面金属杂质元素含量的方

    法。

    本文件适用于流化床法颗粒硅表面金属杂质元素如铁、铬、镍、铜、钠、镁、铝、钾、钙、锌、钛、

    钼、钨、钴、锰等含量的测定，各元素测定范围为0.05ng/g～1000

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