检测与控制技术综合实验.pptxVIP

检测与控制技术综合实验;压阻式压力传感器的压力测量;

了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。;二、实验原理;采用单晶硅为传感器的弹性元件，在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜，用导线将其构成平衡电桥。;初始状态电桥平衡，输出为0，受力P后，电桥输出与P相对应。;主控箱

压阻式压力传感器

压力传感器实验模块

气源连接导管;1.按照下图连接管路和电路

;2、显示选择开关拨到20V档，合上主机箱电源开关，RW1

旋到满度的1／3位置（逆时针转到底再顺时针转两

圈），仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零,RW3调到

中间位置。

3、顺时针旋转主控台面板的流量计旋钮到底（此时主控

箱内压力罐压力最大）。

4、合上主控箱上的气源开关（启动压缩泵），此时主控

台压力表同步显示当前的气源压力值，同时记录当前的

Vo2的输出电压值。

5、逐步关小流量计旋钮（逆时针旋转流量计旋钮），使在4~20KP之间每下降2KP分读取压力表读数，同步记录数据。

6、实验完毕，关闭电源。整理实验器材，放回原处。

;1、整理实验数据图,画出P-V实验曲线。

2、计算本系统的灵敏度S和非线性误差δ。

S＝ΔU/ΔP

（ΔU为输出电压变化量，ΔP为压力变化量）

δ=