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基于含槽亚波长光栅波导结构的TM模式传感特性研究.pdf

基于含槽亚波长光栅波导结构的TM模式传感特性研究.pdf

    摘要

    硅基光学器件由于其优异的光学性能、集成性、生物相容性、稳定性和可调性等

    特点，成为了广泛应用于下一代片上传感系统的理想选择，它们在工业、国防、医疗、

    食品和环保能源等领域展现出巨大的应用潜力。目前基于绝缘体上硅平台的传感器已

    经成为研究热点，随着亚波长结构波导在绝缘体上硅器件中的应用，传感器的结构不

    断更新，性能也被不断地提高。

    本文提出了两种工作在TM（TransverseMagnetic）模式下的含槽亚波长光栅波导

    赛道微环谐振器传感器件，解决了目

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