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基于DSP的静电悬浮微陀螺模拟伺服系统的研究·59·

基于DSP的静电悬浮微陀螺模拟伺服系统的研究

应法明，肖奇军一，崔峰，陈文元，张卫平，刘武

(1．上海交通大学微纳科学技术研究院，上海200030；2．广东肇庆学院电子信息与机电工程学院，广东肇庆526061)

摘要：采用TI公司的浮点式TMS320VC33DSP开发系统，用于静电悬浮转子微陀螺的悬浮控制试验。

介绍了微陀螺控制系统的硬件结构和软件设计，搭建了Simulink控制系统模型，并利用劳斯判据在理论

上推导了PID参数的选取范围。研究了不同频率的正弦激励信号对系统输出的影响；计算了其主要电

气参数，并设计了微陀螺的开环、闭环和刚度性能指标。最后，给出了静电悬浮转子微陀螺系统初步的

悬浮控制结果。

关键词：静电悬浮微陀螺；DSP；伺服系统；硬件电路

中图分类号：TP273文献标识码：B文章编号：1000—8829(2010)10—0059—04

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