微电子器件可靠性 第6章工艺可靠性06.pptVIP

*PPM—1；指功能不合格品。PPM—2：指电特性不合格品。PPM—3：外观和机械特性不合格品。PPM—4：不符合规定的密封要求的产品。PPM—5：不符合任一规范要求的不合格品。PPM分类*PPM—1；指功能不合格品。PPM—2：指电特性不合格品。PPM—3：外观和机械特性不合格品。PPM—4：不符合规定的密封要求的产品。PPM—5：不符合任一规范要求的不合格品。PPM分类*工序能力分析和6σ设计我们知道如果工艺不存在容差，完全满足工艺规范要求，那么成品率将趋于100%，失效率则趋于零。但实际工艺总是不可避免地存在分散性，而且还会出现偏移。工序能力的定量表征工序能力由于各种随机因素的存在，工艺参数总是呈现一定的分散性，一般情况下，工艺参数遵循正态分布，设其均值为μ，标准偏差为σ，σ得大小反映了参数的分散程度，σ越小，工艺参数的均匀程度越高，也就是说包括原材料、设备、工艺技术等因素在内的工序在工艺参数集中性方面综合性能好。正态分布标准偏差σ的大小反映了参数的分散程度，σ越小，工艺参数的分布越集中。*标准偏差σ一方面代表了工艺参数的集中程度，同时也反映了该工序生产合格产品能力的强弱。对正态分布，绝大部分参数值集中在μ±3σ范围内（对应6