CN119631158A 用于操控等离子体生成系统的阻抗匹配电路的控制装置和方法以及这样的等离子体生成系统 （通快许廷格两合公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119631158A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202380057100.5

(22)申请日2023.07.27

(30)优先权数据

102022119157.52022.07.29DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0708862023.07.27

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/023244DE2024.02.01

(71)申请人通快许廷格两合公司地址德国弗赖堡

(72)发明人F·迈尔

(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司

72002

专利代理师郭毅

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

H03H7/40(2006.01)

权利要求书4页说明书11页附图7页

(54)发明名称

用于操控等离子体生成系统的阻抗匹配电路的控制装置和方法以及这样的等离子体生成系统

(57)摘要

CN119631158A一种等离子体生成系统(100)的控制装置(1)用于操控阻抗匹配电路(50)，该阻抗匹配电路具有输入端子(50a)和输出端子(50b)。阻抗匹配电路(50)被联接在HF发生器(60)与负载(70)之间。控制装