CN119644638A 硅基显示装置及其制造方法 （青岛澳柯玛云联信息技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119644638A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202311189230.2

(22)申请日2023.09.14

(71)申请人青岛澳柯玛云联信息技术有限公司

地址266000山东省青岛市黄岛区太行山

路2号

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

公司31295

专利代理师沈宗晶

(51)Int.Cl.

G02F1/1343(2006.01)

H01L21/77(2017.01)

H10D86/60(2025.01)

G02F1/1362(2006.01)

G02F1/13(2006.01)

权利要求书3页说明书11页附图4页

(54)发明名称

硅基显示装置及其制造方法

(57)摘要

CN119644638A本发明提供一种硅基显示装置及其制造方法，采用RC延迟小于钨插塞的接触插塞替代钨插塞，具有更低的电阻，因此具有更低的RC延迟性能。且该制造方法中，在形成光学镜面电极阵列之后沉积第二介电层，并对第二介电层先进行CMP后湿法刻蚀的方法来实现光学镜面电极阵列的隔离，制造成本更低，能够避免CMP直接磨到光学镜面电极顶面上产生的凹陷、微划痕和氧化等问题，使得光学镜面