CN119644743A 等离子发生器的自适应控制系统及方法 （江苏神州半导体科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119644743A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411799989.7

(22)申请日2024.12.09

(71)申请人江苏神州半导体科技有限公司

地址225100江苏省扬州市邗江区蜀岗西

路19号1

(72)发明人朱培文

(74)专利代理机构南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32321

专利代理师梅生振

(51)Int.Cl.

G05B13/04(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图5页

(54)发明名称

等离子发生器的自适应控制系统及方法

(57)摘要

CN119644743A本申请涉及等离子发生器技术领域，其具体地公开了一种等离子发生器的自适应控制系统及方法，其采用基于深度学习的数据分析和编码技术来对电压时序数据集、电流时序数据集和等离子体密度时序数据集进行特征提取，同时对各个控制模式对应的电压、电流与等离子体密度随时间变化的曲线进行时序特征提取，以此根据等离子发生器多变量时序隐含协同特征和各个控制模式多变量时序隐含编码特征之间的快速扫描语义查询表示来智能地筛选出目标等离子发生器的最优的控制模式。通过该方式，能够更准确地预测未来的参数变化趋势，并智能筛选出最优控制模式，相比于传统的阈值判断方法，它可以在参数接