全自动叠层涂胶显影机新产品发布.pdfVIP

附件一：《2016年电子设备新产品汇集》刊登稿

请附新产品彩色（JPG格式）稿件截止日期：7月31日

产品型号中文KS-C300-4C/4D全自动叠层涂胶显影机

及名称英文KS-C300-4C/4DAutomaticSpinCoater/Developer

中文沈阳芯源微电子设备

生产单位

英文KingsemiCo.,LTD

（限200字以内）

用途用于晶圆级封装（WLP），3DTSV,Fanout中高低粘度PR,PI,EPOXY等的涂覆和显影

（限300字以内）

双层叠层结构，全封闭模块化可容纳4个spin单元，21个盘置，应用

EFEM，产能高，可处理5mm以下翘曲晶圆。热板采用渐进式烘焙，其特殊设计方案

特点

解决了厚胶排风和PM问题。机台空间设计合理，占地面积小并兼顾后期。创新